Показ 1 - 1 результатів із 1 для пошуку 'Putrya, M. G.', час виконання запиту: 0.01сек. Уточнити результати
  1. 1
    Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трех­мер­ной интеграции кристаллов
    за авторством Golishnikov, А. А., Putrya, M. G.
    Опубліковано 2014
    Отримати повний текст
    Стаття
    Додати у Вибране
    Збережено в:
Інструменти для пошуку: Отримати RSS-стрічку – Відправити пошук е-поштою