Результати пошуку - Putrya, M. G.
- Показ 1 - 1 результатів із 1
-
1
Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов... за авторством Golishnikov, А. А., Putrya, M. G.
Опубліковано 2014Отримати повний текст
Стаття