CCD photomatrix Optoelectronics and optoelectronic devices autoemission microcathode climatic and radiation resistance digital lithography electrical circuit electronic multiplication local structures mechanical shock and vibration resistance near infrared silicon diode temperature sensors silicon-on-insulator stable autoemission visible light ПЗЗ-фотоматриці автоэмиссионный микрокатод ближній ІЧ-діапазон видиме випромінювання електронне множення кремниевые диодные термодатчики локальные структуры стабильная автоэмиссия стойкость к климатическим и радиационным воздействиям стойкость к механическим ударам и вибрациям цифровая литография электрическая схема “кремний-на-изоляторе”