microelectronic coordinate-sensitive detector VLSI СБИС элементный анализ elemental analysis микроэлектронный координатно-чувствительный детектор мікроелектронний координатно-чутливий детектор 10-bit counters 10-разрядные счетчики CMOS technology breakdown voltage carbon convertor amplifier coordinate-sensitive detector custom VLSI element analysis flexible polyimide carrier large scale integrated circuit low-noise amplifiers mass spectrometry CMOS process material composition medical UWB radars microchannel plate microdefects n –p junction n –p переход oxygen resistive feedback silicon substrate silicon-germanium heterojunction bipolar transistor (SiGe HBT)