The microrelief studies of stainless steel mirrors sputtered with Ar⁺ ions of different energy за авторством Bondarenko, V.N., Konovalov, V.G., Solodovchenko, S.I., Shtan′, A.F., Ryzhkov, I.V., Voitsenya, V.S., Lytvyn, P.M., Byrka, O.V., Skorik, O.A.

Отримати повний текст

Simulating study of plasmachemical erosion of a-C:H films in a ECR discharge plasma за авторством Konovalov, V.G., Makhov, M.N., Ryzhkov, I.V., Shapoval, A.N., Shtan’, A.F., Skorik, O.A., Solodovchenko, S.I., Timoshenko, A.I., Voitsenya, V.S.

Отримати повний текст