Control of planar magnetron sputtering system operating modes by additional anode magnetic field за авторством Bizyukov, A.A., Girka, O.I., Sereda, K.N., Sleptsov, V.V., Chunadra, A.G.

Отримати повний текст

Ion beam system for nanotrimming of functional microelectronics layers за авторством Bizyukov, A.A., Bizyukov, I.A., Girka, O.I., Sereda, K.N., Sleptsov, V.V., Gutkin, M., Mishin, S.

Отримати повний текст