TiN coating etching from a surface of the instrument in beam-plasma system

• Опубліковано в: : Вопросы атомной науки и техники
• Дата: 2000
• Автори: Bizyukov, A.A., Kashaba, A.Y., Sereda, K.N., Sleptsov, V.V., Danziger, М., Phiodorov, S.
• Формат: Стаття
• Мова: English
• Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2000
• Теми: Low temperature plasma and plasma technologies
• Онлайн доступ: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/78562
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: TiN coating etching from a surface of the instrument in beam-plasma system / A.A. Bizyukov, A.Y. Kashaba, K.N. Sereda, V.V. Sleptsov, М. Danziger, S. Phiodorov // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 6. — С. 163-165. — Бібліогр.: 7 назв. — англ.

The results of reactive ion-plasma etching of TiN coatings from a surface of the tool in a beam-plasma system are submitted. The researches were made on the industrial set-up of a type «the Plasma boiler» with a magnetic field of the plug configuration. The electron guns on the basis of magnetron di...