Харвестер відкритої науки НАН України

Control of planar magnetron sputtering system operating modes by additional anode magnetic field

von Bizyukov, A.A., Girka, O.I., Sereda, K.N., Sleptsov, V.V., Chunadra, A.G.
Veröffentlicht 2010

High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge

von Bizyukov, A.A., Sereda, K.N., Sleptsov, V.V., Tarasov, I.K., Chunadra, A.G.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2012)

TiN coating etching from a surface of the instrument in beam-plasma system

von Bizyukov, A.A., Kashaba, A.Y., Sereda, K.N., Sleptsov, V.V., Danziger, М., Phiodorov, S.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2000)

Ion beam system for nanotrimming of functional microelectronics layers

von Bizyukov, A.A., Bizyukov, I.A., Girka, O.I., Sereda, K.N., Sleptsov, V.V., Gutkin, M., Mishin, S.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2011)