-
1
-
2
-
3
-
4
-
5
-
6
-
7
-
8
-
9
-
10
-
11
-
12
-
13Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiationvon Borgun, Ie.V., Hrechko, Ya.O., Azarenkov, N.A., Dimitrova, V.D., Ryabchikov, D.L., Sereda, I.N., Hryhorenko, A.V., Tseluyko, A.F.Volltext
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2015)
Artikel -
14von Mysiura, I.N., Girka, I.A., Azarenkov, N.A., Borgun, Ie.V., Hrechko, Ya.O., Hryhorenko, A.V., Dimitrova, V.D., Ryabchikov, D.L., Sereda, I.N., Tseluyko, A.F.Volltext
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2014)
Artikel