Показ 1 - 1 результатів із 1 для пошуку 'V. A. Gorushko', час виконання запиту: 0.00сек. Уточнити результати
  1. 1
    Methods and mechanisms of gettering of silicon structures in the production of integrated circuits
    за авторством V. A. Pilipenko, V. A. Gorushko, A. N. Petlitskij, V. V. Ponarjadov, A. S. Turtsevich, S. V. Shvedov
    Опубліковано 2013
    Отримати повний текст
    Стаття
    Додати у Вибране
    Збережено в:
Інструменти для пошуку: Отримати RSS-стрічку – Відправити пошук е-поштою