Complex destruction of near-surface silicon layers of Si-SiO₂ structure von Yatsunskiy, I.R., Kulinich, O.A.

Volltext

Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния... von Kulinich, O. A., Smyntyna, V. A., Glauberman, M. A., Chemeresyuk, G. G., Yatsunskiy, I. R.

Volltext