Ignition and break-down of the gas discharge in magnetic field von Zykov, A.V., Azarenkov, N.A.

Volltext

Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией von Dudin, S. V., Rafalskyi, D. V., Zykov, A. V.

Volltext

The energy balance of the asymmetric combined inductive-capacitive RF discharge at low pressure von Zykov, A.V., Polozhiy, K.I., Farenik, V.I.

Volltext

ПРОБЛЕМА ВЫБОРА ЛУЧШЕГО ТЕХНИЧЕСКОГО РЕШЕНИЯ ДЛЯ ОБЕСПЕЧЕНИЯ ВАКУУМ-ВЫПАРНОЙ УСТАНОВКИ ПОДВОДОМ ТЕПЛА... von Smirnov, H.F., Zykov, A.V., Reznichenko, D.N.

Volltext

Oxygen activation effect on reactive magnetron synthesis of alumina coatings von Walkowicz, J., Zykov, A.V., Dudin, S.V., Yakovin, S.D.

Volltext

Oxygen activation effect on reactive magnetron synthesis of alumina coatings von Walkowicz, J., Zykov, A.V., Dudin, S.V., Yakovin, S.D.

Volltext

Experimental research of ICP reactor for plasma-chemical etching von Dudin, S.V., Zykov, A.V., Dahov, A.N., Farenik, V.I.

Volltext

2D fluid model for interactive development of ICP technological tools von Gapon, A.V., Dahov, A.N., Dudin, S.V., Zykov, A.V., Azarenkov, N.A.

Volltext