Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией

von Dudin, S. V., Rafalskyi, D. V., Zykov, A. V.
Veröffentlicht 2010

The energy balance of the asymmetric combined inductive-capacitive RF discharge at low pressure

von Zykov, A.V., Polozhiy, K.I., Farenik, V.I.
Veröffentlicht 2003

Oxygen activation effect on reactive magnetron synthesis of alumina coatings

von Walkowicz, J., Zykov, A.V., Dudin, S.V., Yakovin, S.D.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2007)

Oxygen activation effect on reactive magnetron synthesis of alumina coatings

von Walkowicz, J., Zykov, A.V., Dudin, S.V., Yakovin, S.D.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2007)

Experimental research of ICP reactor for plasma-chemical etching

von Dudin, S.V., Zykov, A.V., Dahov, A.N., Farenik, V.I.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2006)

2D fluid model for interactive development of ICP technological tools

von Gapon, A.V., Dahov, A.N., Dudin, S.V., Zykov, A.V., Azarenkov, N.A.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2006)