Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией

за авторством Dudin, S. V., Rafalskyi, D. V., Zykov, A. V.
Опубліковано 2010

The energy balance of the asymmetric combined inductive-capacitive RF discharge at low pressure

за авторством Zykov, A.V., Polozhiy, K.I., Farenik, V.I.
Опубліковано 2003

Oxygen activation effect on reactive magnetron synthesis of alumina coatings

за авторством Walkowicz, J., Zykov, A.V., Dudin, S.V., Yakovin, S.D.
Опубліковано в: Вопросы атомной науки и техники (2007)

Oxygen activation effect on reactive magnetron synthesis of alumina coatings

за авторством Walkowicz, J., Zykov, A.V., Dudin, S.V., Yakovin, S.D.
Опубліковано в: Вопросы атомной науки и техники (2007)

Experimental research of ICP reactor for plasma-chemical etching

за авторством Dudin, S.V., Zykov, A.V., Dahov, A.N., Farenik, V.I.
Опубліковано в: Вопросы атомной науки и техники (2006)

2D fluid model for interactive development of ICP technological tools

за авторством Gapon, A.V., Dahov, A.N., Dudin, S.V., Zykov, A.V., Azarenkov, N.A.
Опубліковано в: Вопросы атомной науки и техники (2006)