Ignition and break-down of the gas discharge in magnetic field за авторством Zykov, A.V., Azarenkov, N.A.

Отримати повний текст

Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией за авторством Dudin, S. V., Rafalskyi, D. V., Zykov, A. V.

Отримати повний текст

The energy balance of the asymmetric combined inductive-capacitive RF discharge at low pressure за авторством Zykov, A.V., Polozhiy, K.I., Farenik, V.I.

Отримати повний текст

ПРОБЛЕМА ВЫБОРА ЛУЧШЕГО ТЕХНИЧЕСКОГО РЕШЕНИЯ ДЛЯ ОБЕСПЕЧЕНИЯ ВАКУУМ-ВЫПАРНОЙ УСТАНОВКИ ПОДВОДОМ ТЕПЛА... за авторством Smirnov, H.F., Zykov, A.V., Reznichenko, D.N.

Отримати повний текст

Oxygen activation effect on reactive magnetron synthesis of alumina coatings за авторством Walkowicz, J., Zykov, A.V., Dudin, S.V., Yakovin, S.D.

Отримати повний текст

Oxygen activation effect on reactive magnetron synthesis of alumina coatings за авторством Walkowicz, J., Zykov, A.V., Dudin, S.V., Yakovin, S.D.

Отримати повний текст

Experimental research of ICP reactor for plasma-chemical etching за авторством Dudin, S.V., Zykov, A.V., Dahov, A.N., Farenik, V.I.

Отримати повний текст

2D fluid model for interactive development of ICP technological tools за авторством Gapon, A.V., Dahov, A.N., Dudin, S.V., Zykov, A.V., Azarenkov, N.A.

Отримати повний текст