Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией

von Dudin, S. V., Rafalskyi, D. V., Zykov, A. V.
Veröffentlicht 2010

The energy balance of the asymmetric combined inductive-capacitive RF discharge at low pressure

von Zykov, A.V., Polozhiy, K.I., Farenik, V.I.
Veröffentlicht 2003

Oxygen activation effect on reactive magnetron synthesis of alumina coatings

von Walkowicz, J., Zykov, A.V., Dudin, S.V., Yakovin, S.D.
Veröffentlicht 2007

Oxygen activation effect on reactive magnetron synthesis of alumina coatings

von Walkowicz, J., Zykov, A.V., Dudin, S.V., Yakovin, S.D.
Veröffentlicht 2007

Experimental research of ICP reactor for plasma-chemical etching

von Dudin, S.V., Zykov, A.V., Dahov, A.N., Farenik, V.I.
Veröffentlicht 2006

2D fluid model for interactive development of ICP technological tools

von Gapon, A.V., Dahov, A.N., Dudin, S.V., Zykov, A.V., Azarenkov, N.A.
Veröffentlicht 2006