Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией

за авторством Dudin, S. V., Rafalskyi, D. V., Zykov, A. V.
Опубліковано 2010

The energy balance of the asymmetric combined inductive-capacitive RF discharge at low pressure

за авторством Zykov, A.V., Polozhiy, K.I., Farenik, V.I.
Опубліковано 2003

Oxygen activation effect on reactive magnetron synthesis of alumina coatings

за авторством Walkowicz, J., Zykov, A.V., Dudin, S.V., Yakovin, S.D.
Опубліковано 2007

Oxygen activation effect on reactive magnetron synthesis of alumina coatings

за авторством Walkowicz, J., Zykov, A.V., Dudin, S.V., Yakovin, S.D.
Опубліковано 2007

Experimental research of ICP reactor for plasma-chemical etching

за авторством Dudin, S.V., Zykov, A.V., Dahov, A.N., Farenik, V.I.
Опубліковано 2006

2D fluid model for interactive development of ICP technological tools

за авторством Gapon, A.V., Dahov, A.N., Dudin, S.V., Zykov, A.V., Azarenkov, N.A.
Опубліковано 2006