Preparation methods for nano-sized structures using films of chalcogenide glassy semiconductors

• Дата: 2016
• Автори: Petrov, V. V., Lytvyn, P. M., Trunov, M. L., Kryuchyn, A. A., Belyak, E. V., Rubish, V. M., Kostyukevych, S. O., Koptiukh, A. A.
• Формат: Стаття
• Мова: Ukrainian
• Опубліковано: Інститут проблем реєстрації інформації НАН України 2016
• Теми: nanorelief structures; chalcogenide vitreous semiconductors; near-field probes; AFM lithography; нанорельефные структуры; халькогенидные стеклообразные полупроводники; ближнеполевые зонды; атомно-силовая литография; нанорельєфні структури; халькогенідні склоподібні напівпровідники ближньопольові зонди; атомно-силова літографія
• Онлайн доступ: http://drsp.ipri.kiev.ua/article/view/100341
• Назва журналу: Data Recording, Storage & Processing

The analysis of methods of micro- and nanorelief structures recording at chalcogenide vitreous semiconductors films is presented. It is shown that exposing of the chalcogenide vitreous semiconductors films by optical radiation focused by diffraction limited optical systems allows to obtain prints wi...