Automation of measurements of the rate of thin films chemical etching

Automation of measurements of the rate of thin films chemical etching

The peculiarities of the interference method application for the processes of controlling the thin films thickness and measuring their etching rate are analyzed. The possibilities of complete automation of such processes during chemical etching of various types of substances have been investigated....

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2024
Автори:	Іваницький, В. П., Рубіш, В. М., Тарнай, А. А., Чичура, І. І., Рубіш, В. В., Далекорей, А. В., Мешко, Р. О., Рябощук, М. М., Цигика, В. В.
Формат:	Стаття
Мова:	Ukrainian
Опубліковано:	Інститут проблем реєстрації інформації НАН України 2024
Теми:	automation of chemical etching processes chalcogenide amorphous films photoresists interference methods of thickness control
Онлайн доступ:	http://drsp.ipri.kiev.ua/article/view/316977
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Data Recording, Storage & Processing

Репозитарії

Data Recording, Storage & Processing

Схожі ресурси

Investigation of the process of microrelief structures formation in chromium films based on the method of chemical etching
за авторством: Панкратова, А. В., та інші
Опубліковано: (2021)

Laser-induced changes in optical properties of amorphous films of the system Ge-Se
за авторством: Рубіш, В. М., та інші
Опубліковано: (2024)

Influence of laser radiation and mercury vapors on the structure of se100-xtex amorphous films
за авторством: Рубіш, В. М., та інші
Опубліковано: (2022)

Спектроскопiчнi дослiдження плазми високочастотного розряду при плазмохiмiчному травленнi епiтаксiальних структур нiтриду галiю
за авторством: Hladkovskiy, V. V., та інші
Опубліковано: (2018)

Взаємодія халькогенідних плівок As4Se96 з електронним пучком при використанні їх у ролі електронних резистів
за авторством: Bilanych, B. V., та інші
Опубліковано: (2020)

Structural investigations of photosensitive composites «Au Nps/Selenium film»
за авторством: Рубіш, В. М., та інші
Опубліковано: (2020)

Наноструктурованi Au чiпи з пiдвищеною чутливiстю для сенсорiв на основi поверхневого плазмонного резонансу
за авторством: Indutnyi, I. Z., та інші
Опубліковано: (2018)

Structural and morphological properties of annealed films of the As2S3-Sb2S3-SbI3 system
за авторством: Грещук, О. М., та інші
Опубліковано: (2023)

Energy-saving technology for processing of exhausted etching solutions with obtaining of ferromagnetic compounds
за авторством: Самченко, Д.М., та інші
Опубліковано: (2022)

Дослiдження структури i оптичних властивостей NiO нанолусочок. вирощування тонких плiвок Ni(OH)2 методом хiмiчного осадження
за авторством: Abubakar, D., та інші
Опубліковано: (2018)

Оптоэлектронные свойства тонких пленок гидрогенизированного аморфного кремния-углерода и нанокристаллического кремния
за авторством: Najafov, B. A., та інші
Опубліковано: (2018)

Conditions of ferruginous-cherty formations origin (Middle-Dnieper mega-block)
за авторством: Usenko, O.
Опубліковано: (2015)

Формирование слоистой структуры в плёнках никеля при электроосаждении импульсным током
за авторством: Штапенко, Э.Ф., та інші
Опубліковано: (2019)

Оптоэлектронные свойства в гидрогенизированных тонких пленках a-Si1−xGex:H (x = 0−1), полученных плазмохимическим осаждением
за авторством: Najafov, B. A., та інші
Опубліковано: (2018)

Вплив легування атомами Cu, Sn і In на оптичнi властивостi монокристалiв AgGaGe3Se8
за авторством: Krymus, A. S., та інші
Опубліковано: (2019)

Structure and surface morphology of mercury modified selenium thin films
за авторством: Рубіш, В. М., та інші
Опубліковано: (2023)

The Study of Amorphous Chalcogenide Materials of Memory Elements Based on Phase Transitions
за авторством: Kyrylenko, V. K., та інші
Опубліковано: (2014)

Повышение качества поверхностных электроэрозионно-легированных слоёв комбинированными покрытиями и поверхностным пластическим деформированием. I. Особенности формирования комбинированных электроэрозионных покрытий на специальных сталях и сплавах
за авторством: Тарельник, В.Б., та інші
Опубліковано: (2019)

Software system for automated data interpretation of potential fields (GMT-Auto)
за авторством: Starostenko, V. I., та інші
Опубліковано: (2015)

A mathematical model of combined interference in receiving devices of radar sensors of external information of modern aircraft
за авторством: Мезенцев, О. В., та інші
Опубліковано: (2020)

A new textile sizing prepared by the hemp core cellulose ethers
за авторством: Zhang Xin, та інші
Опубліковано: (2016)

Evidence of hydroxyl radical created by DBD plasma in water and its application in dye wastewater remediation
за авторством: Wang Ying, та інші
Опубліковано: (2016)

The influence of rotating magnetic field on the welding arc motion status
за авторством: Zhi-gang Li, та інші
Опубліковано: (2016)

Screening of lignin-degrading fungi for their ability to decay cassava residue
за авторством: Bin Xu, та інші
Опубліковано: (2016)

Low-temperature directed crystallization as a realization of Green Chemistry principles.
за авторством: Eksperiandova, L.P.
Опубліковано: (2016)

Information-Technology Approach to Complex Substantiation of Requirements for Automated Systems
за авторством: Самохвалов, Ю. Я., та інші
Опубліковано: (2012)

Automated water level monitoring system in open water
за авторством: Lepikh, Ya. I., та інші
Опубліковано: (2019)

Структури і профілі тонких KY3F10:Ho3+ плівок, нанесених імпульсним лазерним впливом: Pulsed laser deposition of thin films
за авторством: Gemechu, N., та інші
Опубліковано: (2018)

Development and Investigation of a Steel–Molybdenum Coating Deposited by the Gas–Thermal Method
за авторством: Bolshakov, V.I., та інші
Опубліковано: (2019)

Вплив деформацiї молекули NH3 на девiацiю хiмiчного зв’язку N–H
за авторством: Komyshan, P. N., та інші
Опубліковано: (2018)

Molecular analysis based on surface plasmon spectroscopy for different nature thin films.
за авторством: Kostyukevych, S. O., та інші
Опубліковано: (2019)

Application of neuro evolution tools in automation of technical control systems
за авторством: Doroshenko, А.Yu., та інші
Опубліковано: (2021)

Структурні та морфологічні властивості нанометрових вуглецевих плівок, отриманих розпиленням графіту електронним променем
за авторством: Yukhymchuk, V.O., та інші
Опубліковано: (2023)

Improving the security of critical infrastructures through automated organizational management systems
за авторством: Додонов, О. Г., та інші
Опубліковано: (2022)

Automation in e-procurement system with auction module
за авторством: Bodak, B.V., та інші
Опубліковано: (2023)

Перспективи використання аморфних Fe–Ni–Si–B стрічок у якості осердя контакторів
за авторством: Rafiyev, N.M., та інші
Опубліковано: (2023)

Компенсуюча дія домішки тербію на провідність твердих розчинів TbxSn1 – xSe
за авторством: Huseynov, J. I., та інші
Опубліковано: (2020)

Information resources distribution between automated workstations in local corporative networks
за авторством: Pursky, O.I., та інші
Опубліковано: (2023)

Automated design of OpenCL programs based on algebra-algorithmic approach
за авторством: Doroshenko, А.Yu., та інші
Опубліковано: (2019)

Automated system for real-time control of plasma-chemical etching process in ICP
за авторством: S. V. Dudin
Опубліковано: (2006)