Зображення обкладинки

Automation of measurements of the rate of thin films chemical etching

The peculiarities of the interference method application for the processes of controlling the thin films thickness and measuring their etching rate are analyzed. The possibilities of complete automation of such processes during chemical etching of various types of substances have been investigated....

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2024
Автори:	Іваницький, В. П., Рубіш, В. М., Тарнай, А. А., Чичура, І. І., Рубіш, В. В., Далекорей, А. В., Мешко, Р. О., Рябощук, М. М., Цигика, В. В.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	Інститут проблем реєстрації інформації НАН України 2024
Теми:	automation of chemical etching processes chalcogenide amorphous films photoresists interference methods of thickness control
Онлайн доступ:	http://drsp.ipri.kiev.ua/article/view/316977
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Data Recording, Storage & Processing

Репозитарії

Data Recording, Storage & Processing

Схожі ресурси

Investigation of the process of microrelief structures formation in chromium films based on the method of chemical etching
за авторством: Панкратова, А. В., та інші
Опубліковано: (2021)

Influence of laser radiation and mercury vapors on the structure of se100-xtex amorphous films
за авторством: Рубіш, В. М., та інші
Опубліковано: (2022)

Laser-induced changes in optical properties of amorphous films of the system Ge-Se
за авторством: Рубіш, В. М., та інші
Опубліковано: (2024)

Structural investigations of photosensitive composites «Au Nps/Selenium film»
за авторством: Рубіш, В. М., та інші
Опубліковано: (2020)

The Study of Amorphous Chalcogenide Materials of Memory Elements Based on Phase Transitions
за авторством: Kyrylenko, V. K., та інші
Опубліковано: (2014)

Structural and morphological properties of annealed films of the As2S3-Sb2S3-SbI3 system
за авторством: Грещук, О. М., та інші
Опубліковано: (2023)

Energy-saving technology for processing of exhausted etching solutions with obtaining of ferromagnetic compounds
за авторством: Samchenko, Dmitry N., та інші
Опубліковано: (2022)

Structure and surface morphology of mercury modified selenium thin films
за авторством: Рубіш, В. М., та інші
Опубліковано: (2023)

Формирование слоистой структуры в плёнках никеля при электроосаждении импульсным током
за авторством: Штапенко, Э.Ф., та інші
Опубліковано: (2019)

Registration Materials for Laser Thermolithography
за авторством: Kryuchyn, A. A., та інші
Опубліковано: (2012)

Molecular analysis based on surface plasmon spectroscopy for different nature thin films.
за авторством: Kostyukevych, S. O., та інші
Опубліковано: (2019)

Повышение качества поверхностных электроэрозионно-легированных слоёв комбинированными покрытиями и поверхностным пластическим деформированием. I. Особенности формирования комбинированных электроэрозионных покрытий на специальных сталях и сплавах
за авторством: Тарельник, В.Б., та інші
Опубліковано: (2019)

A mathematical model of combined interference in receiving devices of radar sensors of external information of modern aircraft
за авторством: Мезенцев, О. В., та інші
Опубліковано: (2020)

The influence of rotating magnetic field on the welding arc motion status
за авторством: Zhi-gang Li, та інші
Опубліковано: (2016)

Evidence of hydroxyl radical created by DBD plasma in water and its application in dye wastewater remediation
за авторством: Wang Ying, та інші
Опубліковано: (2016)

Low-temperature directed crystallization as a realization of Green Chemistry principles.
за авторством: Eksperiandova, L.P.
Опубліковано: (2016)

A new textile sizing prepared by the hemp core cellulose ethers
за авторством: Zhang Xin, та інші
Опубліковано: (2016)

Screening of lignin-degrading fungi for their ability to decay cassava residue
за авторством: Bin Xu, та інші
Опубліковано: (2016)

Automation of standardized cyber insurance processes
за авторством: Khudyntsev, Mykola, та інші
Опубліковано: (2025)

Decoder for quadrature Interference Signals
за авторством: Kosyak, I. V.
Опубліковано: (2013)

Software system for automated data interpretation of potential fields (GMT-Auto)
за авторством: Starostenko, V. I., та інші
Опубліковано: (2015)

MINERAL WATERS WITH INCREASED MINERALIZATION WITHIN UKRAINE
за авторством: Ovchynnikova, N.B., та інші
Опубліковано: (2019)

Methodical Aspects of the Conceptual Design of Automated Systems
за авторством: Samokhvalov, Yu. Ya., та інші
Опубліковано: (2012)

Improving the security of critical infrastructures through automated organizational management systems
за авторством: Додонов, О. Г., та інші
Опубліковано: (2022)

Analysis of the Status and Functional Requirements for Modern Engineering Solutions to Create Automated Systems for Personnel Management
за авторством: Khramova, I. О.
Опубліковано: (2012)

Reserves energy saving under the automated control of powerful ventilators of the steam boilers of power plants
за авторством: Kanyuk G., та інші
Опубліковано: (2017)

Conditions of ferruginous-cherty formations origin (Middle-Dnieper mega-block)
за авторством: Usenko, O.
Опубліковано: (2015)

Установка для дослідження процесів рідинного травлення неорганічних резистів — середовищ для голографії та оптичного запису інформації
за авторством: Тарнай, А.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Information-Technology Approach to Complex Substantiation of Requirements for Automated Systems
за авторством: Самохвалов, Ю. Я., та інші
Опубліковано: (2012)

Automated water level monitoring system in open water
за авторством: Lepikh, Ya. I., та інші
Опубліковано: (2019)

Industrial Process Automation and Business Technology Management: A Cobb–Douglas Elasticity Perspective
за авторством: Tomov, Pancho, та інші
Опубліковано: (2025)

Automated control systems microclimate facilities, monitoring and audit within oil fields influence
за авторством: Radlovska, Katerina O.
Опубліковано: (2024)

From the idea to the creation of an automated interpretation system of potential fields GMT-AUTO: step by step
за авторством: Makarenko, I.B., та інші
Опубліковано: (2025)

Automated system for real-time control of plasma-chemical etching process in ICP
за авторством: S. V. Dudin
Опубліковано: (2006)

The use of chalcogenide glassy semiconductors to create micro- and nanoscale structures
за авторством: Petrov, V. V., та інші
Опубліковано: (2020)

CLASSSFICATION OF COAL RESERVES AT THE TYAGLIV AND LYUBELYA FIELDS OF THE SOUTH-WESTERN COAL-BEARING REGION OF THE LVIV-VOLYN BASIN BASED ON THE MAIN NATURAL INDICATORS
за авторством: Костик, І.О., та інші
Опубліковано: (2021)

Automated method for determining the etch pits density on crystallographic planes of large semiconductor crystals
за авторством: G. S. Pekar, та інші
Опубліковано: (2016)

Optimization of energy consumption by electrically powered transport with the use of information from the automated system of commercial electric power accounting
за авторством: Bityukov S.D., та інші
Опубліковано: (2011)

High-efficiency heat-exchange surface for film processes
за авторством: Dubrovskyi V.V.
Опубліковано: (2017)

Indicators of efficiency (quality) of a comprehensive system for ensuring the survivability of distributed automated systems for organizational management of forces and means
за авторством: Залужний , В. Ф.
Опубліковано: (2025)