A research of typical sources of errors in the manufacture of raster optical elements by laser recording systems with circular scanning
An analysis and research of typical sources of errors that arise in the manufacture of raster optical elements by laser recording systems with circular scanning are carried out. The features of the development and construction of circular laser recording systems are considered. Methods for reducing...
Збережено в:
| Дата: | 2025 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України
2025
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://drsp.ipri.kiev.ua/article/view/354561 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Data Recording, Storage & Processing |
| Завантажити файл: |  |
Репозитарії
Data Recording, Storage & Processing| _version_ | 1867479073171701760 |
|---|---|
| author | Косяк, І. В. |
| author_facet | Косяк, І. В. |
| author_institution_txt_mv | [
{
"author": "І. В. Косяк",
"institution": "Інститут проблем реєстрації інформації НАН України"
}
] |
| author_sort | Косяк, І. В. |
| baseUrl_str | http://drsp.ipri.kiev.ua/oai |
| collection | OJS |
| datestamp_date | 2026-06-08T07:18:31Z |
| description | An analysis and research of typical sources of errors that arise in the manufacture of raster optical elements by laser recording systems with circular scanning are carried out. The features of the development and construction of circular laser recording systems are considered. Methods for reducing the influence of errors when recording raster optical elements by a circular laser recording system are proposed.
Today, scanning beam recording methods (electron or laser) are widely used to form the microrelief of raster, diffraction and micro-optical elements. They are based on scanning the surface of the substrate covered with a recording layer with a focused amplitude-modulated laser beam. Scanning methods of direct laser recording are the most universal. The recording beam moves along specified trajectories. These trajectories are straight lines (in a rectangular coordinate system) or circles and spirals (in a polar coordinate system). Laser lithography technology allows for the production and replication of a wide range of different optical structures and micro-optical elements.
Taking into account the above, when choosing a method for manufacturing raster and diffractive optical elements, it is necessary to take into account the features of their application. In the production of various radial optical structures such as optical encoders, coding disks and angle scales, it is better to use circular laser recording systems operating in polar coordinates.
This study presents an analysis of the most typical sources of recording errors on a circular laser recording system and considers the features of the recording method with laser beam addressing in a polar coordinate system. The purpose of the research is to reduce the impact of errors when recording raster optical elements on the created circular laser recording system.
An analysis and experimental research of typical sources of errors that arise when recording radial optical structures on a circular laser recording system were performed. It is shown that the created laser recording system with circular scanning has sources of errors that lead to a shift in the recording coordinate. The error in determining the origin of coordinates, caused by the coincidence of the center of the axis of rotation of the recording system spindle and the center of the polar coordinate system, was eliminated. It is proposed to reduce the error in the angular coordinate caused by the operation of the encoder to replace the encoder in which there will be significantly more than 3600 optical strokes.
The current tasks remain to increase the resolution of recording elements of optical structures and improve optical, mechanical and electronic units. Fig.: 5. Refs: 11 titles. |
| doi_str_mv | 10.35681/1560-9189.2025.27.3.354561 |
| first_indexed | 2026-04-13T01:00:05Z |
| format | Article |
| fulltext |
Фізичні основи, принципи та методи
реєстрації даних
ISSN 1560-9189 Реєстрація, зберігання і обробка даних, 2025, Т. 27, № 3 3
DOI: 10.35681/1560-9189.2025.27.3.354561
УДК 004; 681.7.06
І. В. Косяк
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України
вул. М. Шпака, 2, 03113 Київ, Україна
Дослідження типових джерел похибок при виготовленні
растрових оптичних елементів лазерними записуючими
системами з круговим скануванням
Проведено аналіз і дослідження типових джерел похибок, які вини-
кають при виготовленні растрових оптичних елементів лазерними за-
писуючими системами з круговим скануванням. Розглянуто особливос-
ті розробки та побудови кругових лазерних записуючих систем. Запро-
поновано способи зменшення впливу похибок при записі растрових оп-
тичних елементів на круговій лазерній записуючій системі.
Ключові слова: оптичні структури, лазерний запис, енкодер, оптичний
елемент, підкладка.
На даний час для виготовлення різноманітних растрових оптичних елементів
і високоточних вимірювальних кутових структур переважно використовується тех-
нологія, що заснована на проекційній фотолітографії. Проекційна фотолітографія
дозволяє повністю виключити пошкодження шаблону, оскільки зображення топо-
логічного рисунка проєктується на покриту резистом підкладку, яка розташована
на відстані від шаблону. Недоліком такого методу є його висока ціна та мала швид-
кість експозиції. Тому цей метод використовується в основному для виготовлення
фотошаблонів.
На сьогоднішній день для формування мікрорельєфу растрових, дифракцій-
них і мікрооптичних елементів широко використовуються методи запису сканую-
чим пучком (електронним чи лазерним). Вони засновані на скануванні сфокусова-
ним амплітудно-модульованим лазерним пучком поверхні підкладки, покритої ре-
єструючим шаром. Скануючі методи прямого лазерного запису є найбільш універ-
сальними. Пучок, що записує, переміщається по заданих траєкторіях. Ці траєкторії
є прямими лініями (у прямокутній системі координат), або колами та спіралями (у
полярній системі координат). Технологія лазерної літографії дозволяє виготовляти
та тиражувати широкий спектр різних оптичних структур і мікрооптичних елемен-
тів [1–6].
Електронно-променеві або лазерні пристрої запису, що працюють у прямо-
кутній системі координат, широко використовуються для виготовлення растрових
© І. В. Косяк
І. В. Косяк
4
і дифракційних оптичних елементів. Дифракційна або растрова структура є набо-
ром елементарних зображень — трапецій або прямокутників, орієнтованих уздовж
двох фіксованих ортогональних осей [7]. Це призводить до розсіювання світла на
кутах прямокутників і появі додаткового шуму у зображенні, що формується. Існує
ряд типів растрових і дифракційних оптичних елементів, для яких розсіювання світ-
ла та точність виконання структури є критичним фактором. Для таких елементів
доцільним є запис у полярній системі координат [5, 8].
Враховуючи вищезазначене, при виборі методу виготовлення растрових і ди-
фракційних оптичних елементів необхідно враховувати особливості їхнього засто-
сування. При виробництві різних радіальних оптичних структур таких, як оптичні
енкодери, кодуючі диски та кутові шкали краще використовувати кругові лазерні
записуючі системи, що працюють у полярних координатах.
У даній роботі наведено аналіз найбільш типових джерел похибок запису на
круговій лазерній записуючій системі та розглянуто особливості методу запису з
адресацією лазерного пучка в полярній системі координат.
Мета дослідження — зменшити вплив похибок при записуванні растрових
оптичних елементів на створеній круговій лазерній записуючій системі [9, 10].
Кругова лазерна записуюча система
На рис. 1 наведено функціональну схему кругової лазерної записуючої сис-
теми. Для усунення небажаних механічних коливань оптико-механічний блок роз-
ташовано на гранітній плиті, яка тримається на спеціальних опорах. Лазерна запи-
суюча система складається з таких основних частин: шпинделя на аеростатичних
опорах, привода обертання (електричний двигун), енкодера формування секторних
міток, платформи лінійного переміщення з лінійним приводом та інтерферометром,
лазерної системи запису і фокусування та комп’ютера керування [9]. З метою під-
вищення точності вимірювання координати руху платформи лінійного перемі-
щення — позиціонера було розроблено схему управління лінійним приводом пози-
ціонера на основі лазерного цифрового інтерференційного далекоміра з абсолют-
ним відліком координати і роздільною здатністю 0,6 нм [11].
Вкрита фоточутливим шаром заготовка підкладки (оптичний диск) кріпиться
на планшайбі — поворотному столі, який встановлено на торці шпинделя. Шпин-
дель обертає прикріплений до нього електричний двигун. На осі шпинделя встано-
влений датчик вимірювання кута повороту — кутовий інкрементний енкодер
Kubler 5825 (виробництва Німеччина), який має точність 50 кутових секунд і
36000 тактових імпульсів за один оберт та імпульс початку обертання. Енкодер має
тільки 3600 оптичних штрихів і для збільшення кількості імпульсів за один оберт
застосовано систему множення частоти в 10 раз із інтерполяцією. Цим власне і по-
яснюється така точність. Інкрементний енкодер формує електричні імпульси, що
призначені для синхронізації модуляції лазерного пучка з кутовим положенням пі-
дкладки.
Для запису використовується напівпровідниковий лазер з довжиною хвилі
405 нм. Модульоване лазерне випромінювання спрямовується до фокусуючого
об’єктива (числова апертура NA = 0,85). Об’єктив формує записуючу пляму діамет-
ром 0,8 мкм на поверхні підкладки. Для утримання записуючої плями на поверхні
підкладки під час запису використовується система автоматичного фокусування. У
Дослідження типових джерел похибок при виготовленні
растрових оптичних елементів лазерними записуючими системами з круговим скануванням
ISSN 1560-9189 Реєстрація, зберігання і обробка даних, 2025, Т. 27, № 3 5
приводі фокусування застосовано виконавчу частину на п’єзоелементах. Платфо-
рма лінійного переміщення рухається за допомогою лінійного двигуна. Перемі-
щення платформи вимірюється лазерним інтерферометром. Растрові оптичні стру-
ктури записуються шляхом кругового сканування по спіралі.
Рис. 1. Функціональна схема кругової лазерної записуючої системи
При технології прямого лазерного запису на круговій лазерній записуючій сис-
темі, на відміну від технології лазерного запису фотошаблонів у декартових коор-
динатах, експонування здійснюється сфокусованим променем при дуже високих
швидкостях сканування 0,3-0,6 м/с. При виготовленні елемента оптичної структури
підкладка зі світлочутливим матеріалом безперервно обертається, у той час як за-
писуючий промінь повільно рухається в радіальному напрямку від центру до краю
відповідно до заданого рисунка.
Аналіз похибок лазерної записуючої системи
з круговим скануванням
Створена лазерна записуюча система з круговим скануванням дозволяє виго-
товлення растрових оптичних елементів із записом бінарних структур, які мають
дві градації пропускання з мінімальними розмірами структури за умовною коорди-
натою y 1,5 мкм і за умовною координатою х залежно від радіуса запису. Мініма-
льний розмір структури за координатою х знаходиться із відношення D/36000.
Для прикладу, мінімальні розміри елементів кодуючих дисків діаметром 40 мм ста-
новлять 3,3 мкм за умовною координатою х.
Структура растрових оптичних елементів представляє набір елементарних то-
чок (пікселів) з адресацією в полярній системі координат. Адреса запису довільного
Двигун
Енкодер
Лазер 405 нм
Обєктив’
Лазер 635 нм
Оптичний диск
Керуючий
комп’ютер
Інтерферометр
Лінійний привід
Привід
фокусування
Платформа лінійного переміщення
І. В. Косяк
6
пікселя в полярній системі координат визначається як Pi(ri, i), де ri — радіус за-
пису, i — кутова координата запису. В процесі запису вносяться похибки до струк-
тури растрових оптичних елементів, які мають дві складові:
1) похибка координати запису, тобто кінцева відстань між розрахованою
Pi(ri, i) та записаною Pi'(ri', ji') координатами точок = Pi(ri, i) – Pi'(ri', ji');
2) похибка розміру, що являє собою різницю між розрахованим і реально за-
писаним розміром та формою структури, яка представляє набір елементарних то-
чок.
Абсолютна похибка координати залежить від точності переміщення лазер-
ної записуючої плями відносно підкладки. Величина похибки розміру структури
растрових оптичних елементів, які записуються, в основному обумовлена умовами
запису: величиною експозиції (потужністю лазерного випромінювання), триваліс-
тю проявлення світлочутливого матеріалу — фоторезисту та хрому.
Типові джерела похибок, які призводять до зміщення координати запису, ви-
значаються наступним:
1) помилкою визначення початку координат, що спричинена суміщенням
центру осі обертання шпинделя записуючої системи та центром полярної системи
координат;
2) похибкою кутової координати, яка викликана помилками вимірів поточ-
ного кутового положення записуючої підкладки, що обертається;
3) похибкою траєкторії обертання, яка викликана відхиленням траєкторії руху
записуючого променя від ідеального кола;
4) похибкою переміщення записуючої плями в радіальному напрямку.
Початком полярної системи координат в лазерній записуючій системі з кру-
говим скануванням є вісь обертання підкладки на поворотному столі, який встанов-
лено на торці шпинделя. Визначення з високою точністю положення осі обертання
є суттєвою проблемою. Практично помилка суміщення центру полярної системи
координат з віссю обертання підкладки завжди можлива. На рис. 2 наведено траєк-
торії записуючого лазерного променя на підкладці за наявності помилки початку
координат.
Рис. 2. Траєкторії записуючого лазерного променя на підкладці
r
O
O1
x
y
1
2
Дослідження типових джерел похибок при виготовленні
растрових оптичних елементів лазерними записуючими системами з круговим скануванням
ISSN 1560-9189 Реєстрація, зберігання і обробка даних, 2025, Т. 27, № 3 7
Точка О є центром обертання підкладки на поворотному столі, точка О1 є змі-
щеним центром полярної системи координат. На лінії 1 показано слід записуючої
лазерної плями при переміщенні лінійної платформи на нерухомій підкладці, коло
2 з радіусом r — слід записуючої плями на підкладці, що обертається при нерухо-
мій платформі. Точка O1 є початком відліку лазерного інтерферометра. Відрізки y0
і x0 від точки O1 до центру обертання підкладки O вносять помилку в координату
записуваної точки. Реальна полярна координата точки, що записується, буде P'(r',
j'). Радіус r' і полярний кут ' визначаються як
𝑟 ′ = √(𝑟 + 𝑥0)2 + 𝑦02, 𝜑′ = 𝜑 + arctg (
𝑦0
𝑟+𝑥0
).
Помилка встановлення початку координат, тобто відстань між точками О та
О1 (рис. 2) визначається експериментально при записуванні відповідних геометри-
чних структур. Радіальні помилки x0 та y0 можна мінімізувати шляхом переміщення
платформи. На рис. 3 представлено зображення записаних оптичних структур, в
яких присутня похибка початку їхнього запису, що спричинена зміщенням центру
осі обертання шпинделя записуючої системи та центром полярної системи коорди-
нат. Для усунення (зведення до мінімуму) похибки кута була зміщена платфор-
ма лінійного переміщення на величину відрізку ВС (рис. 3,а).
а) б)
Рис. 3. Зображення записаних оптичних структур, в яких присутня похибка початку їхнього
запису, що спричинена зміщенням центру осі обертання шпинделя записуючої системи
та центром полярної системи координат
Похибка кутової координати викликана помилками вимірів поточного куто-
вого положення записуючої підкладки, що обертається, і, в основному, обумовлена
роботою енкодера. Джерелом помилок є нерівномірність інтервалів , що внося-
A
B C
І. В. Косяк
8
ться як системою фазового автопідстроювання частоти (ФАПЧ) енкодера, так і
його оптико-електронним датчиком кута повороту. Оптико-електронний датчик
кута повороту енкодера формує електричні імпульси, що йдуть через кожні 0,1
(енкодер має тільки 3600 оптичних штрихів). Помножувач частоти проходження
імпульсів, виконаний на основі ФАПЧ, збільшує кутову роздільну здатність у 10
разів, тобто = 0,01 або до 36 кутових секунд. Таким чином, ми отримуємо 36000
тактових імпульсів за один оберт.
Сигнали очної діаграми (рис. 4,а), що представляють серію цифрових сигна-
лів, накопичених і відображених на осцилографі, дозволяють здійснити аналіз ці-
лісності сигналу, вплив міжсимвольних перехресних перешкод, зміщення в часі так-
тових імпульсів і визначення джитера (фазове тремтіння цифрового сигналу). На
рис. 4,а явно помітні зміни розташування фронтів цифрового сигналу в часі.
Сигналограма на рис. 4,б, що отримана в режимі одиночного запуску тригера
на осцилографі, відображає характеристики наявного цифрового сигналу тактових
імпульсів. Видно, що імпульсні тактові сигнали відрізняються тривалістю імпуль-
сів і місцем розташування в послідовності імпульсів (рис. 4,а). Власне це підтвер-
джує наявність похибки кутової координати, обумовленої роботою енкодера, в
якому використовується ФАПЧ для збільшення кутової роздільної здатності.
Рис. 4. Сигналограми сигналів з кутового інкрементного енкодера Kubler 5825:
а) очна діаграма серії цифрових сигналів;
б) сигнал в режимі одиночний запуск тригера (стоп кадр)
Експериментальні дослідження роботи лазерної записуючої системи з круго-
вим скануванням показали, що типова середньоквадратична величина похибки ку-
тової координати не перевищує 50 кутових секунд. На рис. 5 представлено зобра-
ження збільшеної частини записаної оптичної структури в якій присутня похибка
кутової координати на радіусі 20 мм. Обчислення умовної дуги в 5 мкм на радіусі
20 мм і дає результат 50 кутових секунд. Таким чином, зі збільшенням радіуса
запису, абсолютна величина похибки кутової координати даватиме зростання роз-
мірів помилки умовної дуги в 5 мкм (рис. 5), що неминуче буде призводити до ви-
кривлень геометрії оптичних структур, які записуються.
Треба зауважити, що величина умовної дуги в 5 мкм (рис. 5) не означає збіль-
шення розмірів записуваних оптичних елементів, а відображає тільки зміщення ко-
ординати початку запису окремого елемента структури на певному радіусі.
Дослідження типових джерел похибок при виготовленні
растрових оптичних елементів лазерними записуючими системами з круговим скануванням
ISSN 1560-9189 Реєстрація, зберігання і обробка даних, 2025, Т. 27, № 3 9
Рис. 5. Зображення збільшеної частини записаної оптичної структури
в якій присутня похибка кутової координати на радіусі 20 мм
Похибка траєкторії обертання підкладки, яка викликана відхиленням траєк-
торії руху записуючого променя від ідеального кола обумовлена ексцентриситетом
обертання підкладки, розміщеного на шпинделі та меншою мірою биттям осі шпин-
деля. Похибка траєкторії обертання спричинена неточністю виготовлення осі пово-
ротного столу та деталей аеростатичного шпинделя. Також важливу роль відіграє
точність виготовлення отвору самої підкладки. Ця похибка призводить до викрив-
лення координат запису, і для її зменшення необхідно робити посадковий отвір під-
кладки з відповідною точністю.
Похибка переміщення записуючої плями в радіальному напрямку обумовлена
рухом платформи лінійного переміщення. Платформа на аеростатичних опорах пе-
реміщує фокусуючу оптику і визначає положення записуючої плями на підкладці в
радіальному напрямку. Контроль переміщення платформи здійснюється лазерним
інтерферометром. З метою підвищення точності вимірювання координати руху
платформи лінійного переміщення було розроблено схему управління лінійним
приводом позиціонера на основі лазерного цифрового інтерференційного далеко-
міра з абсолютним відліком координати та роздільною здатністю 0,6 нм. Обробку
інтерференційних сигналів керування лінійним двигуном позиціонера виконано на
програмному рівні [11].
Висновки
Виконано аналіз і експериментальне дослідження типових джерел похибок,
які виникають при запису радіальних оптичних структур на круговій лазерній за-
писуючій системі. Показано, що створена лазерна записуюча система з круговим
скануванням має джерела похибок, які призводять до зміщення координати запису.
Було усунено помилку визначення початку координат, що спричинена суміщенням
центру осі обертання шпинделя записуючої системи та центром полярної системи
координат. Для зменшення похибки кутової координати, яка викликана роботою
енкодера, запропоновано замінити енкодер, в якому будуть присутні значно більше
ніж 3600 оптичних штрихів.
1.5 мкм
І. В. Косяк
10
Актуальними задачами залишаються підвищення роздільчої здатності запису
елементів оптичних структур і вдосконалення оптичних, механічних і електронних
вузлів.
Автор висловлює глибоку подяку Національному фонду досліджень України
за фінансову підтримку у рамках проєкту № 2023.04/0004.
1. Goltsos W., Liu S. Polar coordinate laser writer for binary optics fabrication. Proc. SPIE. 1990.
1211. P. 137–147. DOI: 10.1117/12.17934.
2. Hyug-Gyo Rhee. Direct Laser Lithography and Its Applications. IntechOpen, 2010. 19 р. DOI:
10.5772/8167.
3. I. Bernardeschi, M. Ilyas, L. Beccai. A Review on Active 3D Microstructures via Direct Laser
Lithography. Advanced Intelligent Systems published by Wiley-VCH GmbH, 2021. 20 p. DOI:
10.1002/aisy.202100051.
4. Varapnickas S., Malinauskas M. Processes of Laser Direct Writing 3D Nanolithography. In book:
Handbook of Laser Micro- and Nano-Engineering. Springer, Cham, 2020. Р. 1–31. DOI: 10.1007/978-3-
319-69537-2_32-1.
5. Zhenguo Bai, Jingsong Wei, Rui Wang. High-speed laser writing of arbitrary patterns in polar
coordinate system. Review of Scientific Instruments. 2016. Vol. 87. P. 1–6. DOI: 10.1063/1.4973397.
6. Kiryanov A. Improving Synthesis Accuracy of Topology Elements in Laser Pattern Generators
with Circular Scanning Mode. In book: Proceedings of the 5th International Conference on Industrial
Engineering. 2020. P. 497–506. DOI: 10.1007/978-3-030-22041-9_53.
7. Ogata S., Tada M., Yoneda M. Electron-beam writing system and its application to large and
highdensity diffractive optic elements. Appl. Opt. 1994. 33. P. 2032–2038. DOI: 10.1364/AO.33.002032.
8. Neugebauer G., Hauck R., Bryngdahl O. Computergenerated holograms: carrier of polar
geometry. Appl. Opt. 1985. 24, Nо. 6. P. 777–784. DOI: 10.1364/AO.24.000777.
9. Косяк І.В., Цубін О.А. Формування радіальних оптичних структур на круговій лазерній
записуючій системі. Реєстрація, зберігання і оброб. даних. 2024. Т. 26, № 1. C. 3–8. DOI:
10.35681/1560-9189.2024.26.1.308326
10. Петров В.В., Крючин А.А., Беляк Є.В., Манько Д.Ю., Косяк І.В., Мельник О.Г. Переваги
прямого лазерного запису для збільшення роздільної здатності процесу виготовлення дифракційних
оптичних елементів. Фізика і хімія твердого тіла. 2024. Т. 25, № 3. С. 587–594.
11. Високошвидкісний інтерферометр на основі запам’ятовуючого пристрою: пат. 106553 Ук-
раїна. № a201304496, заявл. 10.04.2013; опубл. 10.09.2014. Бюл. № 17. 6 с.
Надійшла до редакції 14.05.2025
|
| id | drspiprikievua-article-354561 |
| institution | Data Recording, Storage & Processing |
| keywords_txt_mv | keywords |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2026-06-09T01:00:28Z |
| publishDate | 2025 |
| publisher | Інститут проблем реєстрації інформації НАН України |
| record_format | ojs |
| resource_txt_mv | drspiprikievua/f6/e539df8c8c5a2693cbb84d10e542cdf6.pdf |
| spelling | drspiprikievua-article-3545612026-06-08T07:18:31Z A research of typical sources of errors in the manufacture of raster optical elements by laser recording systems with circular scanning Дослідження типових джерел похибок при виготовленні растрових оптичних елементів лазерними записуючими системами з круговим скануванням Косяк, І. В. оптичні структури, лазерний запис, енкодер, оптичний елемент, підкладка optical structures, laser recording, encoder, optical element, substrate An analysis and research of typical sources of errors that arise in the manufacture of raster optical elements by laser recording systems with circular scanning are carried out. The features of the development and construction of circular laser recording systems are considered. Methods for reducing the influence of errors when recording raster optical elements by a circular laser recording system are proposed. Today, scanning beam recording methods (electron or laser) are widely used to form the microrelief of raster, diffraction and micro-optical elements. They are based on scanning the surface of the substrate covered with a recording layer with a focused amplitude-modulated laser beam. Scanning methods of direct laser recording are the most universal. The recording beam moves along specified trajectories. These trajectories are straight lines (in a rectangular coordinate system) or circles and spirals (in a polar coordinate system). Laser lithography technology allows for the production and replication of a wide range of different optical structures and micro-optical elements. Taking into account the above, when choosing a method for manufacturing raster and diffractive optical elements, it is necessary to take into account the features of their application. In the production of various radial optical structures such as optical encoders, coding disks and angle scales, it is better to use circular laser recording systems operating in polar coordinates. This study presents an analysis of the most typical sources of recording errors on a circular laser recording system and considers the features of the recording method with laser beam addressing in a polar coordinate system. The purpose of the research is to reduce the impact of errors when recording raster optical elements on the created circular laser recording system. An analysis and experimental research of typical sources of errors that arise when recording radial optical structures on a circular laser recording system were performed. It is shown that the created laser recording system with circular scanning has sources of errors that lead to a shift in the recording coordinate. The error in determining the origin of coordinates, caused by the coincidence of the center of the axis of rotation of the recording system spindle and the center of the polar coordinate system, was eliminated. It is proposed to reduce the error in the angular coordinate caused by the operation of the encoder to replace the encoder in which there will be significantly more than 3600 optical strokes. The current tasks remain to increase the resolution of recording elements of optical structures and improve optical, mechanical and electronic units. Fig.: 5. Refs: 11 titles. Проведено аналіз і дослідження типових джерел похибок, які вини-кають при виготовленні растрових оптичних елементів лазерними записуючими системами з круговим скануванням. Розглянуто особливос-ті розробки та побудови кругових лазерних записуючих систем. Запропоновано способи зменшення впливу похибок при записі растрових оптичних елементів на круговій лазерній записуючій системі. Інститут проблем реєстрації інформації НАН України 2025-12-23 Article Article application/pdf https://drsp.ipri.kiev.ua/article/view/354561 10.35681/1560-9189.2025.27.3.354561 Data Recording, Storage & Processing; Vol. 27 No. 3 (2025): Special issue; 3-10 Регистрация, хранение и обработка данных; Том 27 № 3 (2025): Спецвипуск; 3-10 Реєстрація, зберігання і обробка даних; Том 27 № 3 (2025): Спецвипуск; 3-10 1560-9189 uk https://drsp.ipri.kiev.ua/article/view/354561/341089 Авторське право (c) 2025 Реєстрація, зберігання і обробка даних |
| spellingShingle | optical structures laser recording encoder optical element substrate Косяк, І. В. A research of typical sources of errors in the manufacture of raster optical elements by laser recording systems with circular scanning |
| title | A research of typical sources of errors in the manufacture of raster optical elements by laser recording systems with circular scanning |
| title_alt | Дослідження типових джерел похибок при виготовленні растрових оптичних елементів лазерними записуючими системами з круговим скануванням |
| title_full | A research of typical sources of errors in the manufacture of raster optical elements by laser recording systems with circular scanning |
| title_fullStr | A research of typical sources of errors in the manufacture of raster optical elements by laser recording systems with circular scanning |
| title_full_unstemmed | A research of typical sources of errors in the manufacture of raster optical elements by laser recording systems with circular scanning |
| title_short | A research of typical sources of errors in the manufacture of raster optical elements by laser recording systems with circular scanning |
| title_sort | research of typical sources of errors in the manufacture of raster optical elements by laser recording systems with circular scanning |
| topic | optical structures laser recording encoder optical element substrate |
| topic_facet | оптичні структури лазерний запис енкодер оптичний елемент підкладка optical structures laser recording encoder optical element substrate |
| url | https://drsp.ipri.kiev.ua/article/view/354561 |
| work_keys_str_mv | AT kosâkív aresearchoftypicalsourcesoferrorsinthemanufactureofrasteropticalelementsbylaserrecordingsystemswithcircularscanning AT kosâkív doslídžennâtipovihdžerelpohibokprivigotovlennírastrovihoptičnihelementívlazernimizapisuûčimisistemamizkrugovimskanuvannâm AT kosâkív researchoftypicalsourcesoferrorsinthemanufactureofrasteropticalelementsbylaserrecordingsystemswithcircularscanning |