Влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление

• Datum: 2013
• Hauptverfasser: Грицына, В.И., Дудник, С.Ф., Кошевой, К.И., Опалев, О.А., Решетняк, Е.Н., Стрельницкий, В.Е.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2013
• Schriftenreihe: Физическая инженерия поверхности
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/100591
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Влияние состава газовой фазы при синтезе наноструктурных алмазных покрытий на их удельное сопротивление / В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, К.И. Кошевой, О.А. Опалев, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 4. — С. 338–344. — Бібліогр.: 15 назв. — рос.

Приведены экспериментальные результаты влияния состава газовой фазы при синтезе легированных азотом наноструктурных алмазных покрытий в плазме тлеющего разряда на их удельное сопротивление. Показано, что за счет изменения состава газовой фазы удельное сопротивление наноструктурных алмазных покрыти...