Плазменные СВЧ технологии в процессах инженерии поверхности
Saved in:
| Date: | 2003 |
|---|---|
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2003
|
| Series: | Физическая инженерия поверхности |
| Online Access: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101833 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Плазменные СВЧ технологии в процессах инженерии поверхности / А.П. Достанко, С.В. Бордусов // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 7-18. — Бібліогр.: 72 назв. — рос. |