Плазменные СВЧ технологии в процессах инженерии поверхности
Збережено в:
| Видавець: | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
|---|---|
| Дата: | 2003 |
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2003
|
| Назва видання: | Физическая инженерия поверхности |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/101833 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Цитувати: | Плазменные СВЧ технологии в процессах инженерии поверхности / А.П. Достанко, С.В. Бордусов // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 7-18. — Бібліогр.: 72 назв. — рос. |