Определение условий осаждения переходных металлов из их карбонилов методом моделирования LCVD-процесса
В рамках математической модели, которая учитывает конвективный теплообмен с поверхностью образующегося осадка в условиях лазерного CVD-процесса, рассчитаны распределения температурного поля и определены условия формирования осадка на диэлектрической подложке при пиролитическом разложении тетракарбон...
Saved in:
| Date: | 2014 |
|---|---|
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2014
|
| Series: | Металлофизика и новейшие технологии |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/106953 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Определение условий осаждения переходных металлов из их карбонилов методом моделирования LCVD-процесса / К.В. Кирпенко, А.В. Недоля, И.Н. Титов // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 6. — С. 735-743. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |