Определение условий осаждения переходных металлов из их карбонилов методом моделирования LCVD-процесса
В рамках математической модели, которая учитывает конвективный теплообмен с поверхностью образующегося осадка в условиях лазерного CVD-процесса, рассчитаны распределения температурного поля и определены условия формирования осадка на диэлектрической подложке при пиролитическом разложении тетракарбон...
Збережено в:
| Дата: | 2014 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2014
|
| Назва видання: | Металлофизика и новейшие технологии |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/106953 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Определение условий осаждения переходных металлов из их карбонилов методом моделирования LCVD-процесса / К.В. Кирпенко, А.В. Недоля, И.Н. Титов // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 6. — С. 735-743. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| Резюме: | В рамках математической модели, которая учитывает конвективный теплообмен с поверхностью образующегося осадка в условиях лазерного CVD-процесса, рассчитаны распределения температурного поля и определены условия формирования осадка на диэлектрической подложке при пиролитическом разложении тетракарбонила никеля и карбонилов других переходных металлов. Методом конечных элементов рассчитаны профили осадков металлов, которые хорошо согласуются с экспериментальными данными. Определены параметры лазерного излучения, при которых реализуется пиролиз карбонилов и осаждение металлов на подложку, а также размерные параметры осадков переходных металлов. |
|---|