Моделирование условий существования эмиттера тугоплавкого материала в процессе катодного вакуумно-дугового осаждения
Предложена нелинейная математическая модель разогрева эмиттера в процессе катодного вакуумно-дугового осаждения материалов, учитывающая зависимость теплоёмкости и теплопроводности материала катода от температуры. С помощью модели рассчитаны значения плотности тока эмиссии для различных тугоплавких м...
Saved in:
| Date: | 2014 |
|---|---|
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2014
|
| Series: | Металлофизика и новейшие технологии |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/107045 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Моделирование условий существования эмиттера тугоплавкого материала в процессе катодного вакуумно-дугового осаждения / В.Д. Алимов, А.В. Недоля, И.Н. Титов // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 11. — С. 1523-1532. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |