Моделирование условий существования эмиттера тугоплавкого материала в процессе катодного вакуумно-дугового осаждения

• Дата: 2014
• Автори: Алимов, В.Д., Недоля, А.В., Титов, И.Н.
• Формат: Стаття
• Мова: Russian
• Опубліковано: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2014
• Назва видання: Металлофизика и новейшие технологии
• Теми: Металлические поверхности и плёнки
• Онлайн доступ: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/107045
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Моделирование условий существования эмиттера тугоплавкого материала в процессе катодного вакуумно-дугового осаждения / В.Д. Алимов, А.В. Недоля, И.Н. Титов // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 11. — С. 1523-1532. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Предложена нелинейная математическая модель разогрева эмиттера в процессе катодного вакуумно-дугового осаждения материалов, учитывающая зависимость теплоёмкости и теплопроводности материала катода от температуры. С помощью модели рассчитаны значения плотности тока эмиссии для различных тугоплавких материалов, которые хорошо согласуются с литературными данными, а также определены условия, при которых будет реализовываться испарение материала катода. Установлена связь между плотностью тока эмиссии и временем разогрева эмиттера до температуры испарения, которая имеет нелинейный характер и зависит от термических характеристик материала катода. Модель позволяет повысить эффективность осаждения материалов путём предварительной оценки технологических и физических параметров осаждения.