2025-02-23T16:29:16-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-108648%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T16:29:16-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-108648%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T16:29:16-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T16:29:16-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C₆₀

Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C₆₀

В работе исследованы закономерности роста пленок и эрозии поверхности при облучении мишеней из углерода и кремния пучком ускоренных ионов С₆₀ с энергией в интервале 2,5–24 кэВ при температуре мишеней 373 K. Установлено, что рост углеродных пленок на поверхности облучаемых кремниевых мишеней наблюдае...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Малеев, М.В., Зубарев, Е.Н., Пуха, В.Е., Дроздов, А.Н., Вус, А.С., Девизенко, А.Ю.
Format: Article
Language:Russian
Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2015
Series:Физическая инженерия поверхности
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/108648
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

Internet

http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/108648

Similar Items