2025-02-23T16:03:39-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-108726%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T16:03:39-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-108726%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T16:03:39-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T16:03:39-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления

Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления

Проведены экспериментальные исследования стационарных режимов, а также порогов погасания магнетронного разряда с управляемым по величине и топологии магнитным полем. Предложено объяснение полученных результатов на основании пространственно-усредненной модели газового разряда с объемной ионизацией, а...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Зыков, А.В., Дудин, С.В., Яковин, С.Д.
Format: Article
Language:Russian
Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2015
Series:Физическая инженерия поверхности
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/108726
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
id irk-123456789-108726
record_format dspace
spelling irk-123456789-1087262016-11-15T03:03:13Z Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления Зыков, А.В. Дудин, С.В. Яковин, С.Д. Проведены экспериментальные исследования стационарных режимов, а также порогов погасания магнетронного разряда с управляемым по величине и топологии магнитным полем. Предложено объяснение полученных результатов на основании пространственно-усредненной модели газового разряда с объемной ионизацией, адаптированной для магнетронного разряда. Проведені експериментальні дослідження стаціонарних режимів, а також порогів згасання магнетронного розряду з керованим за величиною і топології магнітним полем. Запропоновано пояснення отриманих результатів на підставі просторово-усередненої моделі газового розряду з об’ємною іонізацією, адаптованої для магнетронного розряду. The experimental research of stationary regimes and extinction thresholds of magnetron discharge with controlled size and topology of the magnetic field lines has been carried out. An explanation of the obtained results basing on the space-averaged model of gas discharge with spatial ionization adapted for magnetron discharge is presented. 2015 Article Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления / А.В. Зыков, С.В. Дудин, С.Д. Яковин // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 2. — С. 264-275. — Бібліогр.: 23 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/108726 533.9 ru Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
description Проведены экспериментальные исследования стационарных режимов, а также порогов погасания магнетронного разряда с управляемым по величине и топологии магнитным полем. Предложено объяснение полученных результатов на основании пространственно-усредненной модели газового разряда с объемной ионизацией, адаптированной для магнетронного разряда.
format Article
author Зыков, А.В.
Дудин, С.В.
Яковин, С.Д.
spellingShingle Зыков, А.В.
Дудин, С.В.
Яковин, С.Д.
Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления
Физическая инженерия поверхности
author_facet Зыков, А.В.
Дудин, С.В.
Яковин, С.Д.
author_sort Зыков, А.В.
title Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления
title_short Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления
title_full Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления
title_fullStr Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления
title_full_unstemmed Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления
title_sort стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
publishDate 2015
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/108726
citation_txt Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления / А.В. Зыков, С.В. Дудин, С.Д. Яковин // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 2. — С. 264-275. — Бібліогр.: 23 назв. — рос.
series Физическая инженерия поверхности
work_keys_str_mv AT zykovav stacionarnyerežimymagnetronnogorazrâdanizkogodavleniâ
AT dudinsv stacionarnyerežimymagnetronnogorazrâdanizkogodavleniâ
AT âkovinsd stacionarnyerežimymagnetronnogorazrâdanizkogodavleniâ
first_indexed 2023-10-18T20:18:18Z
last_indexed 2023-10-18T20:18:18Z
_version_ 1796149506514878464

Similar Items