Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления
Проведены экспериментальные исследования стационарных режимов, а также порогов погасания магнетронного разряда с управляемым по величине и топологии магнитным полем. Предложено объяснение полученных результатов на основании пространственно-усредненной модели газового разряда с объемной ионизацией, а...
Збережено в:
| Дата: | 2015 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2015
|
| Назва видання: | Физическая инженерия поверхности |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/108726 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления / А.В. Зыков, С.В. Дудин, С.Д. Яковин // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 2. — С. 264-275. — Бібліогр.: 23 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-108726 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1087262016-11-15T03:03:13Z Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления Зыков, А.В. Дудин, С.В. Яковин, С.Д. Проведены экспериментальные исследования стационарных режимов, а также порогов погасания магнетронного разряда с управляемым по величине и топологии магнитным полем. Предложено объяснение полученных результатов на основании пространственно-усредненной модели газового разряда с объемной ионизацией, адаптированной для магнетронного разряда. Проведені експериментальні дослідження стаціонарних режимів, а також порогів згасання магнетронного розряду з керованим за величиною і топології магнітним полем. Запропоновано пояснення отриманих результатів на підставі просторово-усередненої моделі газового розряду з об’ємною іонізацією, адаптованої для магнетронного розряду. The experimental research of stationary regimes and extinction thresholds of magnetron discharge with controlled size and topology of the magnetic field lines has been carried out. An explanation of the obtained results basing on the space-averaged model of gas discharge with spatial ionization adapted for magnetron discharge is presented. 2015 Article Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления / А.В. Зыков, С.В. Дудин, С.Д. Яковин // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 2. — С. 264-275. — Бібліогр.: 23 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/108726 533.9 ru Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| description |
Проведены экспериментальные исследования стационарных режимов, а также порогов погасания магнетронного разряда с управляемым по величине и топологии магнитным полем. Предложено объяснение полученных результатов на основании пространственно-усредненной модели газового разряда с объемной ионизацией, адаптированной для магнетронного разряда. |
| format |
Article |
| author |
Зыков, А.В. Дудин, С.В. Яковин, С.Д. |
| spellingShingle |
Зыков, А.В. Дудин, С.В. Яковин, С.Д. Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления Физическая инженерия поверхности |
| author_facet |
Зыков, А.В. Дудин, С.В. Яковин, С.Д. |
| author_sort |
Зыков, А.В. |
| title |
Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления |
| title_short |
Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления |
| title_full |
Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления |
| title_fullStr |
Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления |
| title_full_unstemmed |
Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления |
| title_sort |
стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| publishDate |
2015 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/108726 |
| citation_txt |
Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления / А.В. Зыков, С.В. Дудин, С.Д. Яковин // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 2. — С. 264-275. — Бібліогр.: 23 назв. — рос. |
| series |
Физическая инженерия поверхности |
| work_keys_str_mv |
AT zykovav stacionarnyerežimymagnetronnogorazrâdanizkogodavleniâ AT dudinsv stacionarnyerežimymagnetronnogorazrâdanizkogodavleniâ AT âkovinsd stacionarnyerežimymagnetronnogorazrâdanizkogodavleniâ |
| first_indexed |
2023-10-18T20:18:18Z |
| last_indexed |
2023-10-18T20:18:18Z |
| _version_ |
1796149506514878464 |