Stochastic heating of electrons in capacitive RF discharges by plasma oscillations
Stochastic heating of electrons by plasma oscillations excited in the capacitive discharge plasma is investigated theoretically. We have obtained criteria, when the stochastic heating take place, and demonstrated numerically that this heating mechanism can be sufficiently effective.
Збережено в:
| Дата: | 2012 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2012
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/109205 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Stochastic heating of electrons in capacitive RF discharges by plasma oscillations / O.V. Manuilenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 6. — С. 205-207. — Бібліогр.: 12 назв. — англ. |