Investigation of characteristics of non-simultaneous arc discharge in titanium vapors in glow discharge electron evaporators
Investigations of simultaneous applying of high voltage glow discharge (HVGD) and non-self-maintained low-pressure arc discharge for obtaining high-quality titanium nitride coatings are provided. Obtained results are compared with experiments, provided on experimental technological equipment. Provid...
Збережено в:
| Дата: | 2007 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2007
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/110505 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Investigation of characteristics of non-simultaneous arc discharge in titanium vapors in glow discharge electron evaporators / S.V. Denbnovetskiy, V.I. Melnyk, I.V. Melnyk, B.A. Tugay, P.V. Porytskyy // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 1. — С. 167-169. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |