Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles

Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles

The operation of any magnetron-type sputtering system is based on using of anomalous glow discharge in a crossed E ┴ B fields. In such systems a principle of magnetic isolation of electrons is realized and idea of magnetic lines equipotentialization for control of ions flow on cathode-target can be...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2007
Автори: Dobrovol's'kii, A.M., Evsyukov, A.N., Goncharov, A.A., Protsenko, I.M.
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2007
Назва видання:Вопросы атомной науки и техники
Теми:
Low temperature plasma and plasma technologies
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/110509
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles / A.M. Dobrovol's'kii, A.N. Evsyukov, A.A. Goncharov, I.M. Protsenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 1. — С. 151-153. — Бібліогр.: 7 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-110509
record_format dspace
spelling irk-123456789-1105092017-01-05T03:04:20Z Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles Dobrovol's'kii, A.M. Evsyukov, A.N. Goncharov, A.A. Protsenko, I.M. Low temperature plasma and plasma technologies The operation of any magnetron-type sputtering system is based on using of anomalous glow discharge in a crossed E ┴ B fields. In such systems a principle of magnetic isolation of electrons is realized and idea of magnetic lines equipotentialization for control of ions flow on cathode-target can be applied quite well. In the present work, with consistent taking these principles into account, the sample of axially-symmetric cylindrical sputtering system of magnetron type is proposed, elaborated and tested. Використання аномального жевріючого розряду в схрещених електричному та магнітному полях є основою функціонування будь-якої магнетронної розпилюючої системи. В таких системах виконується принцип магнітної ізоляції електронів та може бути застосована ідея еквіпотенціалізації магнітних силових ліній з метою керування iонним потоком на катоді-мішені. На основі послідовного використання вказаних плазмооптичних принципів було запропоновано, реалізовано та досліджено варіант аксіально-симетричної циліндричної розпилюючої системи магнетронного типу. Использование аномального тлеющего разряда в скрещенных электрических и магнитных полях является основой функционирования любой магнетронной распылительной системы. В таких системах выполняется принцип магнитной изоляции электронов и может быть применена идея эквипотенциализации магнитных силовых линий для управления ионным потоком на катоде-мишени. На основе последовательного применения указанных плазмооптических принципов предложен, реализован и исследован вариант аксиально-симметричной цилиндрической распылительной системы магнетронного типа. 2007 Article Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles / A.M. Dobrovol's'kii, A.N. Evsyukov, A.A. Goncharov, I.M. Protsenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 1. — С. 151-153. — Бібліогр.: 7 назв. — англ. 1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/110509 PACS:52.25.Xz,52.27.Aj,52.40.Hf,52.50.Dg,52.75.-d,52.77.-j,52.77.Bn,52.77.Dq,52.80.-s,52.80.Sm,52.80.Vp en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language English
topic Low temperature plasma and plasma technologies
Low temperature plasma and plasma technologies
spellingShingle Low temperature plasma and plasma technologies
Low temperature plasma and plasma technologies
Dobrovol's'kii, A.M.
Evsyukov, A.N.
Goncharov, A.A.
Protsenko, I.M.
Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles
Вопросы атомной науки и техники
description The operation of any magnetron-type sputtering system is based on using of anomalous glow discharge in a crossed E ┴ B fields. In such systems a principle of magnetic isolation of electrons is realized and idea of magnetic lines equipotentialization for control of ions flow on cathode-target can be applied quite well. In the present work, with consistent taking these principles into account, the sample of axially-symmetric cylindrical sputtering system of magnetron type is proposed, elaborated and tested.
format Article
author Dobrovol's'kii, A.M.
Evsyukov, A.N.
Goncharov, A.A.
Protsenko, I.M.
author_facet Dobrovol's'kii, A.M.
Evsyukov, A.N.
Goncharov, A.A.
Protsenko, I.M.
author_sort Dobrovol's'kii, A.M.
title Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles
title_short Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles
title_full Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles
title_fullStr Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles
title_full_unstemmed Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles
title_sort cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
publishDate 2007
topic_facet Low temperature plasma and plasma technologies
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/110509
citation_txt Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles / A.M. Dobrovol's'kii, A.N. Evsyukov, A.A. Goncharov, I.M. Protsenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 1. — С. 151-153. — Бібліогр.: 7 назв. — англ.
series Вопросы атомной науки и техники
work_keys_str_mv AT dobrovolskiiam cylindricalmagnetronbasedontheplasmaopticalprinciples
AT evsyukovan cylindricalmagnetronbasedontheplasmaopticalprinciples
AT goncharovaa cylindricalmagnetronbasedontheplasmaopticalprinciples
AT protsenkoim cylindricalmagnetronbasedontheplasmaopticalprinciples
first_indexed 2024-03-30T09:13:13Z
last_indexed 2024-03-30T09:13:13Z
_version_ 1796149685050671104

Схожі ресурси