Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles

• Дата: 2007
• Автори: Dobrovol's'kii, A.M., Evsyukov, A.N., Goncharov, A.A., Protsenko, I.M.
• Формат: Стаття
• Мова: English
• Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2007
• Назва видання: Вопросы атомной науки и техники
• Теми: Low temperature plasma and plasma technologies
• Онлайн доступ: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/110509
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Cylindrical magnetron based on the plasmaoptical principles / A.M. Dobrovol's'kii, A.N. Evsyukov, A.A. Goncharov, I.M. Protsenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2007. — № 1. — С. 151-153. — Бібліогр.: 7 назв. — англ.

The operation of any magnetron-type sputtering system is based on using of anomalous glow discharge in a crossed E ┴ B fields. In such systems a principle of magnetic isolation of electrons is realized and idea of magnetic lines equipotentialization for control of ions flow on cathode-target can be...