Solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge
A new solid ion source is described. The ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge produces the beam of various solid ions (B, C, Si, Ti, V, Fe, Ni, Ta, W) which are then extracted by an ion optical accelerating system. In this ion source DC discharge is used for generati...
Збережено в:
| Дата: | 2003 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2003
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/110538 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge / N.A. Azarenkov, A.A. Bizyukov, I.A. Bizyukov, V.V. Bobkov, A.E. Kashaba, K. Krieger, K.N. Sereda, I.K. Tarasov // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 1. — С. 125-127. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-110538 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1105382017-01-05T03:04:38Z Solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge Azarenkov, N.A. Bizyukov, A.A. Bizyukov, I.A. Bobkov, V.V. Kashaba, A.E. Krieger, K. Sereda, K.N. Tarasov, I.K. Low temperature plasma and plasma technologies A new solid ion source is described. The ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge produces the beam of various solid ions (B, C, Si, Ti, V, Fe, Ni, Ta, W) which are then extracted by an ion optical accelerating system. In this ion source DC discharge is used for generation of the ions of different metals and capacitively coupled RF discharge with a frequency 13.56 MHz is used for generation of the ions of other solid materials. Описано нове джерело твердотільних іонів. Джерело іонів на базі порожнього циліндричного розпилюючого магнетронного розряду генерує пучок різних твердотільних іонів (B, C, Si, Ti, V, Fe, Ni, Ta, W), які потім витягаються іонно-оптичною прискорюючою системою. У цьому іонному джерелі для генерації іонів різних металів використовується розряд постійного струму, а для генерації іонів інших твердих матеріалів використовується ємнісний ВЧ-розряд з частотою 13,56 Мгц. Описан новый источник твердотельных ионов. Источник ионов на базе полого цилиндрического распылительного магнетронного разряда производит пучок различных твердотельных ионов (B, C, Si, Ti, V, Fe, Ni, Ta, W), которые затем извлекаются ионно-оптической ускорительной системой. В этом ионном источнике для генерации ионов различных металлов используется разряд постоянного тока, а для генерации ионов других твердых материалов используется емкостной ВЧ-разряд с частотой 13,56 МГц. 2003 Article Solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge / N.A. Azarenkov, A.A. Bizyukov, I.A. Bizyukov, V.V. Bobkov, A.E. Kashaba, K. Krieger, K.N. Sereda, I.K. Tarasov // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 1. — С. 125-127. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.80.-s http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/110538 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| topic |
Low temperature plasma and plasma technologies Low temperature plasma and plasma technologies |
| spellingShingle |
Low temperature plasma and plasma technologies Low temperature plasma and plasma technologies Azarenkov, N.A. Bizyukov, A.A. Bizyukov, I.A. Bobkov, V.V. Kashaba, A.E. Krieger, K. Sereda, K.N. Tarasov, I.K. Solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge Вопросы атомной науки и техники |
| description |
A new solid ion source is described. The ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge produces the beam of various solid ions (B, C, Si, Ti, V, Fe, Ni, Ta, W) which are then extracted by an ion optical accelerating system. In this ion source DC discharge is used for generation of the ions of different metals and capacitively coupled RF discharge with a frequency 13.56 MHz is used for generation of the ions of other solid materials. |
| format |
Article |
| author |
Azarenkov, N.A. Bizyukov, A.A. Bizyukov, I.A. Bobkov, V.V. Kashaba, A.E. Krieger, K. Sereda, K.N. Tarasov, I.K. |
| author_facet |
Azarenkov, N.A. Bizyukov, A.A. Bizyukov, I.A. Bobkov, V.V. Kashaba, A.E. Krieger, K. Sereda, K.N. Tarasov, I.K. |
| author_sort |
Azarenkov, N.A. |
| title |
Solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge |
| title_short |
Solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge |
| title_full |
Solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge |
| title_fullStr |
Solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge |
| title_full_unstemmed |
Solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge |
| title_sort |
solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2003 |
| topic_facet |
Low temperature plasma and plasma technologies |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/110538 |
| citation_txt |
Solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge / N.A. Azarenkov, A.A. Bizyukov, I.A. Bizyukov, V.V. Bobkov, A.E. Kashaba, K. Krieger, K.N. Sereda, I.K. Tarasov // Вопросы атомной науки и техники. — 2003. — № 1. — С. 125-127. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT azarenkovna solidionsourcebasedonhollowcylindricalmagnetronsputteringdischarge AT bizyukovaa solidionsourcebasedonhollowcylindricalmagnetronsputteringdischarge AT bizyukovia solidionsourcebasedonhollowcylindricalmagnetronsputteringdischarge AT bobkovvv solidionsourcebasedonhollowcylindricalmagnetronsputteringdischarge AT kashabaae solidionsourcebasedonhollowcylindricalmagnetronsputteringdischarge AT kriegerk solidionsourcebasedonhollowcylindricalmagnetronsputteringdischarge AT seredakn solidionsourcebasedonhollowcylindricalmagnetronsputteringdischarge AT tarasovik solidionsourcebasedonhollowcylindricalmagnetronsputteringdischarge |
| first_indexed |
2024-03-30T09:13:22Z |
| last_indexed |
2024-03-30T09:13:22Z |
| _version_ |
1796149686962225152 |