Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа

Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа

Представлены результаты комплексного теоретического и экспериментального исследования цилиндрических газовых разрядов в конфигурации скрещенных электрических и магнитных полей, присущих аксиально-симметричной плазменной линзе. Предложено и испытано оригинальное цилиндрическое распылительное устройст...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2008
Автори: Гончаров, А.А., Добровольский, А.Н., Евсюков, А.Н., Проценко, И.М., Литовко, И.В.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2008
Назва видання:Вопросы атомной науки и техники
Теми:
Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/110589
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа / А.А. Гончаров, А.Н. Добровольский, А.Н. Евсюков, И.М. Проценко, И.В. Литовко // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 4. — С. 189-194. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-110589
record_format dspace
spelling irk-123456789-1105892017-01-05T03:05:00Z Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа Гончаров, А.А. Добровольский, А.Н. Евсюков, А.Н. Проценко, И.М. Литовко, И.В. Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия Представлены результаты комплексного теоретического и экспериментального исследования цилиндрических газовых разрядов в конфигурации скрещенных электрических и магнитных полей, присущих аксиально-симметричной плазменной линзе. Предложено и испытано оригинальное цилиндрическое распылительное устройство, основанное на принципах плазмооптики. На базе экспериментальных данных сформулировано новое системное видение плазмодинамики газовых разрядов магнетронного типа. Новый подход предусматривает наличие трёх квазиавтономных областей в разряде, в которых токоперенос осуществляется различными частицами. Представлено результати комплексного теоретичного та експериментального дослідження циліндричних газових розрядів у конфігурації схрещених електричних та магнітних полів, притаманних аксиально-симетричній плазмовій лінзі. Запропоновано та випробувано оригінальний циліндричний розпилюючий пристрій, побудований на принципах плазмооптики. На базі експериментальних даних сформульовано нове системне бачення плазмодинаміки газових розрядів магнетронного типу. Новий підхід передбачає наявність трьох квазіавтономних областей у розряді, в яких струмопереніс здійснюється різними частинками. The results of the complex theoretical and experimental investigations of the cylindrical gas discharge are presented. The configuration of the ExH fields of this discharge is similar to axial plasma lens. Original cylindrical sputtering system based on plasmaoptical principals is proposed and tested. Based on experimental data it was stated a new system view of the magnetron-type gas discharge plasmadynamic. New approach provide for the presence of three quasiautonomous regions in discharge where current is given by different particles movements. 2008 Article Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа / А.А. Гончаров, А.Н. Добровольский, А.Н. Евсюков, И.М. Проценко, И.В. Литовко // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 4. — С. 189-194. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/110589 533.9 ru Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия
Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия
spellingShingle Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия
Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия
Гончаров, А.А.
Добровольский, А.Н.
Евсюков, А.Н.
Проценко, И.М.
Литовко, И.В.
Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа
Вопросы атомной науки и техники
description Представлены результаты комплексного теоретического и экспериментального исследования цилиндрических газовых разрядов в конфигурации скрещенных электрических и магнитных полей, присущих аксиально-симметричной плазменной линзе. Предложено и испытано оригинальное цилиндрическое распылительное устройство, основанное на принципах плазмооптики. На базе экспериментальных данных сформулировано новое системное видение плазмодинамики газовых разрядов магнетронного типа. Новый подход предусматривает наличие трёх квазиавтономных областей в разряде, в которых токоперенос осуществляется различными частицами.
format Article
author Гончаров, А.А.
Добровольский, А.Н.
Евсюков, А.Н.
Проценко, И.М.
Литовко, И.В.
author_facet Гончаров, А.А.
Добровольский, А.Н.
Евсюков, А.Н.
Проценко, И.М.
Литовко, И.В.
author_sort Гончаров, А.А.
title Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа
title_short Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа
title_full Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа
title_fullStr Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа
title_full_unstemmed Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа
title_sort плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
publishDate 2008
topic_facet Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/110589
citation_txt Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа / А.А. Гончаров, А.Н. Добровольский, А.Н. Евсюков, И.М. Проценко, И.В. Литовко // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 4. — С. 189-194. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.
series Вопросы атомной науки и техники
work_keys_str_mv AT gončarovaa plazmodinamičeskieosobennosticilindričeskihgazovyhrazrâdovmagnetronnogotipa
AT dobrovolʹskijan plazmodinamičeskieosobennosticilindričeskihgazovyhrazrâdovmagnetronnogotipa
AT evsûkovan plazmodinamičeskieosobennosticilindričeskihgazovyhrazrâdovmagnetronnogotipa
AT procenkoim plazmodinamičeskieosobennosticilindričeskihgazovyhrazrâdovmagnetronnogotipa
AT litovkoiv plazmodinamičeskieosobennosticilindričeskihgazovyhrazrâdovmagnetronnogotipa
first_indexed 2023-10-18T20:22:20Z
last_indexed 2023-10-18T20:22:20Z
_version_ 1796149692711567360

Схожі ресурси