2025-02-23T03:53:24-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-110637%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T03:53:24-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-110637%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T03:53:24-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T03:53:24-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Формирование напряжений сжатия в тонких пленках при ионном облучении

Формирование напряжений сжатия в тонких пленках при ионном облучении

На основе модели нелокального термоупругого пика низкоэнергетического иона в веществе предложена модернизированная теория формирования напряжений сжатия в тонких пленках, осаждаемых при одновременном облучении потоком низкоэнергетических ионов. Выражение для величины напряжений сжатия в зависимости...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Калиниченко, А.И., Перепелкин, С.С., Стрельницкий, В.Е.
Format: Article
Language:Russian
Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2007
Series:Вопросы атомной науки и техники
Subjects:
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/110637
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

Internet

http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/110637

Similar Items