2025-02-23T11:02:12-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-110691%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T11:02:12-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-110691%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T11:02:12-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T11:02:12-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Экспериментальная установка для анализа вторичных нейтральных частиц

Экспериментальная установка для анализа вторичных нейтральных частиц

Предложена конструкция экспериментальной установки для масс-спектрометрического анализа нейтральной компоненты потока распыленных частиц. Установка смонтирована на базе высокодозного ионного имплантера, что позволяет работать в широком интервале энергий первичных ионов (20…170 кэВ). Ионизация нейтра...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Батурин, В.А., Еремин, С.А.
Format: Article
Language:Russian
Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2008
Series:Вопросы атомной науки и техники
Subjects:
Приложения и технологии
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/110691
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

Internet

http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/110691

Similar Items