Effect of electron emission on radio-frequency plasma sheaths
In this article it is studied the influence of electron emission on sheath parameters near electrodes in radio-frequency discharges with the magnetic field. We considered the one-dimensional radio-frequency discharge in argon between plane electrodes separated by a gap d at various neutral gas press...
Gespeichert in:
| Datum: | 2008 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2008
|
| Schriftenreihe: | Вопросы атомной науки и техники |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/110795 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Effect of electron emission on radio-frequency plasma sheaths / O.Yu. Kravchenko, G.I. Levada, I.S. Marushchak, A.V. Vakulenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 6. — С. 104-106. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. |