2025-02-23T08:46:10-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-110923%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T08:46:10-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-110923%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T08:46:10-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T08:46:10-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Рентгенографический анализ периодических пленочных композиций W/Si

Рентгенографический анализ периодических пленочных композиций W/Si

Методом рентгеновской дифрактометрии исследована структура пленок вольфрама и многослойных периодических W/Si-композиций, полученных методом магнетронного распыления. Показано, что химический и фазовый составы вольфрамовых слоев при неизменном давлении распыляющего газа ~0,35 Па определяяются скорос...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Решетняк, Е.Н., Малыхин, С.В., Першин, Ю.П., Пугачев, А.Т.
Format: Article
Language:Russian
Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2003
Series:Вопросы атомной науки и техники
Subjects:
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/110923
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

Similar Items

2025-02-23T08:46:10-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&rows=40&rows=5&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-110923%22&qt=morelikethis
2025-02-23T08:46:10-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&rows=40&rows=5&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-110923%22&qt=morelikethis
2025-02-23T08:46:10-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T08:46:10-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response

Similar Items