Влияние примеси германия на радиационную стойкость кремния с высокой концентрацией кислорода
Исследована радиационная стойкость образцов n-Si, выращенных методом Чохральского (Сz), с примесью германия (NGe=2•10²⁰ cм⁻³) и без нее после облучения быстрыми нейтронами. Обнаружено, что введение германия повышает радиационную стойкость n-Si. Показано, что отжиг кластеров дефектов связан с аннигил...
Збережено в:
| Дата: | 2008 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут ядерних досліджень НАН України
2008
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111095 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Влияние примеси германия на радиационную стойкость кремния с высокой концентрацией кислорода / А.П. Долголенко, Г.П. Гайдар, М.Д. Варенцов, П.Г. Литовченко // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 2. — С. 28-36. — Бібліогр.: 36 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-111095 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1110952017-01-09T03:02:50Z Влияние примеси германия на радиационную стойкость кремния с высокой концентрацией кислорода Долголенко, А.П. Гайдар, Г.П. Варенцов, М.Д. Литовченко, П.Г. Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах Исследована радиационная стойкость образцов n-Si, выращенных методом Чохральского (Сz), с примесью германия (NGe=2•10²⁰ cм⁻³) и без нее после облучения быстрыми нейтронами. Обнаружено, что введение германия повышает радиационную стойкость n-Si. Показано, что отжиг кластеров дефектов связан с аннигиляцией вакансионного типа дефектов в кластерах с межузельными дефектами. Определены энергия миграции и частотный фактор димежузлия (Е₁=0,74 эВ; n₁=3,5•10⁶ с⁻¹), межузельного атома (Е₂=0,91 эВ; n₂=7•10⁶ с⁻¹), а также вакансии кремния (Еv=0,8 эВ; v=1•10⁷ с⁻¹). Наблюдался g-радиационный отжиг нейтронно-облученных образцов Cz-Si n-типа. Досліджено радіаційну стійкість зразків n-Si, вирощених за методом Чохральського (Сz), з домішкою германію (NGe=2•10²⁰ cм⁻³) та без неї після опромінення швидкими нейтронами. Знайдено, що введення германію підвищує радіаційну стійкість n-Si приблизно в сім разів. Показано, що відпал кластерів дефектів пов'язаний з анігіляцією вакансійного типу дефектів у кластерах з міжвузловими дефектами. Визначено енергію міграції та частотний фактор диміжвузля (Е₁=0,74 еВ; n₁=3,5•10⁶ с⁻¹), міжвузлового атому (Е₂=0,91 еВ; n₂=7•10⁷ с⁻¹), а також вакансії кремнію (Еv =0,8 еВ; n=1•10⁷ с⁻¹). Розглянуто g-радіаційний відпал нейтронно-опромінених зразків Cz-Si n-типу. The radiation hardness of Czochralski grown (Cz) n-type silicon samples, doped by germanium (NGe=2•10²⁰ cm⁻³) and without that, was investigated after irradiaton by fast neutrons. It was found that the introduction of germanium leaded to the increase of n-Si radiation hardness by a factor of 7. It was shown that the annealing of defect clusters is caused by the annihilation of vacancy type defects in clusters with interstitial defects. The migration energy and the frequency factor for di-interstitial (Е₁=0.74 eV; n₁=3.5•10⁶ s⁻¹), for silicon interstitial atom (Е₂=0.91 eV; n₂=7•10⁷ s⁻¹) and for vacancy (Еv =0.8 eV; n=1•10⁷ s⁻¹) were determined. The annealing of neutron-irradiated n-type Cz-Si by gamma irradiation was observed. 2008 Article Влияние примеси германия на радиационную стойкость кремния с высокой концентрацией кислорода / А.П. Долголенко, Г.П. Гайдар, М.Д. Варенцов, П.Г. Литовченко // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 2. — С. 28-36. — Бібліогр.: 36 назв. — рос. 1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111095 621.315.592.3:546.28:539.12.04 ru Вопросы атомной науки и техники Інститут ядерних досліджень НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах |
| spellingShingle |
Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах Долголенко, А.П. Гайдар, Г.П. Варенцов, М.Д. Литовченко, П.Г. Влияние примеси германия на радиационную стойкость кремния с высокой концентрацией кислорода Вопросы атомной науки и техники |
| description |
Исследована радиационная стойкость образцов n-Si, выращенных методом Чохральского (Сz), с примесью германия (NGe=2•10²⁰ cм⁻³) и без нее после облучения быстрыми нейтронами. Обнаружено, что введение германия повышает радиационную стойкость n-Si. Показано, что отжиг кластеров дефектов связан с аннигиляцией вакансионного типа дефектов в кластерах с межузельными дефектами. Определены энергия миграции и частотный фактор димежузлия (Е₁=0,74 эВ; n₁=3,5•10⁶ с⁻¹), межузельного атома (Е₂=0,91 эВ; n₂=7•10⁶ с⁻¹), а также вакансии кремния (Еv=0,8 эВ; v=1•10⁷ с⁻¹). Наблюдался g-радиационный отжиг нейтронно-облученных образцов Cz-Si n-типа. |
| format |
Article |
| author |
Долголенко, А.П. Гайдар, Г.П. Варенцов, М.Д. Литовченко, П.Г. |
| author_facet |
Долголенко, А.П. Гайдар, Г.П. Варенцов, М.Д. Литовченко, П.Г. |
| author_sort |
Долголенко, А.П. |
| title |
Влияние примеси германия на радиационную стойкость кремния с высокой концентрацией кислорода |
| title_short |
Влияние примеси германия на радиационную стойкость кремния с высокой концентрацией кислорода |
| title_full |
Влияние примеси германия на радиационную стойкость кремния с высокой концентрацией кислорода |
| title_fullStr |
Влияние примеси германия на радиационную стойкость кремния с высокой концентрацией кислорода |
| title_full_unstemmed |
Влияние примеси германия на радиационную стойкость кремния с высокой концентрацией кислорода |
| title_sort |
влияние примеси германия на радиационную стойкость кремния с высокой концентрацией кислорода |
| publisher |
Інститут ядерних досліджень НАН України |
| publishDate |
2008 |
| topic_facet |
Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111095 |
| citation_txt |
Влияние примеси германия на радиационную стойкость кремния с высокой концентрацией кислорода / А.П. Долголенко, Г.П. Гайдар, М.Д. Варенцов, П.Г. Литовченко // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 2. — С. 28-36. — Бібліогр.: 36 назв. — рос. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT dolgolenkoap vliânieprimesigermaniânaradiacionnuûstojkostʹkremniâsvysokojkoncentraciejkisloroda AT gajdargp vliânieprimesigermaniânaradiacionnuûstojkostʹkremniâsvysokojkoncentraciejkisloroda AT varencovmd vliânieprimesigermaniânaradiacionnuûstojkostʹkremniâsvysokojkoncentraciejkisloroda AT litovčenkopg vliânieprimesigermaniânaradiacionnuûstojkostʹkremniâsvysokojkoncentraciejkisloroda |
| first_indexed |
2024-03-30T09:15:04Z |
| last_indexed |
2024-03-30T09:15:04Z |
| _version_ |
1796149745832427520 |