2025-02-23T07:06:35-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-111695%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T07:06:35-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-111695%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T07:06:35-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T07:06:35-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Свойства AlN-покрытия, полученного вакуумно-дуговым методом на кремнии

Свойства AlN-покрытия, полученного вакуумно-дуговым методом на кремнии

AlN-покрытие получено методом вакуумно-дугового осаждения на кремниевой подложке. С использованием растровой ионно-электронной микроскопии показано, что покрытие нитрида алюминия имеет волокнистую структуру. Методом сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ) показано, что AlN имеет поликристаллическую п...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Суджанская, И.В., Колесников, Д.А., Береснев, В.М., Погребняк, А.Д., Гриценко, В.И., Гончаров, И.Ю., Турбин, П.В., Торяник, И.Н.
Format: Article
Language:Russian
Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2011
Series:Вопросы атомной науки и техники
Subjects:
Физика и технология конструкционных материалов
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111695
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

Internet

http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111695

Similar Items