Свойства AlN-покрытия, полученного вакуумно-дуговым методом на кремнии
AlN-покрытие получено методом вакуумно-дугового осаждения на кремниевой подложке. С использованием растровой ионно-электронной микроскопии показано, что покрытие нитрида алюминия имеет волокнистую структуру. Методом сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ) показано, что AlN имеет поликристаллическую п...
Збережено в:
| Дата: | 2011 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2011
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111695 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Свойства AlN-покрытия, полученного вакуумно-дуговым методом на кремнии / И.В. Суджанская, Д.А. Колесников, В.М. Береснев, А.Д. Погребняк, В.И. Гриценко, И.Ю. Гончаров, П.В. Турбин, И.Н. Торяник // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 6. — С. 145-148. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |