Исследование эффектов модификации поверхности металлических подложек, подвергнутых ионно-плазменной обработке
Установлена корреляция между проявлением эффектов модификации и продолжительностью ионно-плазменной очистки поверхности подложек ионами титана. Эксперименты проводились на серийной вакуумно-дуговой установке «Булат-6» в стационарном режиме в нефильтрованной плазме титана, которая содержала в осаждае...
Saved in:
| Date: | 2011 |
|---|---|
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2011
|
| Series: | Вопросы атомной науки и техники |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111700 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Исследование эффектов модификации поверхности металлических подложек, подвергнутых ионно-плазменной обработке / В.М. Шулаев, В.С. Таран, А.И. Тимошенко, В.В. Гасилин // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 6. — С. 184-192. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |