Исследование эффектов модификации поверхности металлических подложек, подвергнутых ионно-плазменной обработке
Установлена корреляция между проявлением эффектов модификации и продолжительностью ионно-плазменной очистки поверхности подложек ионами титана. Эксперименты проводились на серийной вакуумно-дуговой установке «Булат-6» в стационарном режиме в нефильтрованной плазме титана, которая содержала в осаждае...
Збережено в:
Дата: | 2011 |
---|---|
Автори: | , , , |
Формат: | Стаття |
Мова: | Russian |
Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2011
|
Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
Теми: | |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111700 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Исследование эффектов модификации поверхности металлических подложек, подвергнутых ионно-плазменной обработке / В.М. Шулаев, В.С. Таран, А.И. Тимошенко, В.В. Гасилин // Вопросы атомной науки и техники. — 2011. — № 6. — С. 184-192. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |