Formation of Nanostructured Relief of TiN—Fe Heterostructures in Hybrid Helicon-Arc Plasma Reactor

Formation of Nanostructured Relief of TiN—Fe Heterostructures in Hybrid Helicon-Arc Plasma Reactor

The features of the physical mechanisms of controlled ion-plasma formation of the new functional nanomaterials are investigated. The technological regimes of formation of functional nanostructured materials under combined impact of several plasma sources are investigated; the structural and electric...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2015
Автори: Rudenko, E.M., Korotash, I.V., Polotskiy, D.Y., Osipov, L.S., Dyakin, M.V., Prikhna, T.A., Shapovalov, A.P.
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2015
Назва видання:Металлофизика и новейшие технологии
Теми:
Металлические поверхности и плёнки
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111893
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Formation of Nanostructured Relief of TiN—Fe Heterostructures in Hybrid Helicon-Arc Plasma Reactor / E. M. Rudenko, I. V. Korotash, D. Y. Polotskiy, L. S. Osipov, M. V. Dyakin, T. A. Prikhna, A. P. Shapovalov // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 4. — С. 499-508. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-111893
record_format dspace
spelling irk-123456789-1118932017-01-16T03:03:17Z Formation of Nanostructured Relief of TiN—Fe Heterostructures in Hybrid Helicon-Arc Plasma Reactor Rudenko, E.M. Korotash, I.V. Polotskiy, D.Y. Osipov, L.S. Dyakin, M.V. Prikhna, T.A. Shapovalov, A.P. Металлические поверхности и плёнки The features of the physical mechanisms of controlled ion-plasma formation of the new functional nanomaterials are investigated. The technological regimes of formation of functional nanostructured materials under combined impact of several plasma sources are investigated; the structural and electrical properties of the obtained TiN films are studied. The structures of films are studied with scanning tunnelling microscope JSPM-4500/4610 interlocked with an atomic force microscope. As shown, the optimized helicon-arc reactor demonstrates the unique properties and provides controlled low-temperature formation of the dense regular TiN nanostructures with the sizes from a few to tens of nanometres. Вивчено особливості фізичних механізмів керованого йонно-плазмового формування нових функціональних наноматеріялів. Відпрацьовано технологічні режими формування функціональних наноструктурованих матеріялів за спільної роботи кількох джерел плазми; вивчено структурні та електрофізичні особливості одержаних плівок TiN. Структури плівок досліджено на сканівному тунельному мікроскопі JSPM-4500/4610, зблокованому з атомним силовим мікроскопом. Встановлено, що оптимізований гелікон-дуговий реактор демонструє унікальні властивості і забезпечує кероване низькотемпературне формування щільних упорядкованих наноструктур TiN з розмірами від одиниць до десятків нанометрів. Изучены особенности физических механизмов управляемого ионно-плазменного формирования новых функциональных наноматериалов. Отработаны технологические режимы формирования функциональных наноструктурированных материалов при совместной работе нескольких источников плазмы; изучены структурные и электрофизические особенности полученных плёнок TiN. Структуры плёнок исследованы на сканирующем туннельном микроскопе JSPM-4500/4610, сблокированном с атомным силовым микроскопом. Установлено, что оптимизированный геликонно-дуговой реактор демонстрирует уникальные свойства и обеспечивает управляемое низкотемпературное формирование плотных упорядоченных наноструктур TiN с размерами от единиц до десятков нанометров. 2015 Article Formation of Nanostructured Relief of TiN—Fe Heterostructures in Hybrid Helicon-Arc Plasma Reactor / E. M. Rudenko, I. V. Korotash, D. Y. Polotskiy, L. S. Osipov, M. V. Dyakin, T. A. Prikhna, A. P. Shapovalov // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 4. — С. 499-508. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. 1024-1809 PACS: 52.50.Dg, 52.50.Qt, 61.46.Bc, 68.35.Ct, 68.35.Dv, 81.16.Rf, 82.33.Xj http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111893 en Металлофизика и новейшие технологии Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language English
topic Металлические поверхности и плёнки
Металлические поверхности и плёнки
spellingShingle Металлические поверхности и плёнки
Металлические поверхности и плёнки
Rudenko, E.M.
Korotash, I.V.
Polotskiy, D.Y.
Osipov, L.S.
Dyakin, M.V.
Prikhna, T.A.
Shapovalov, A.P.
Formation of Nanostructured Relief of TiN—Fe Heterostructures in Hybrid Helicon-Arc Plasma Reactor
Металлофизика и новейшие технологии
description The features of the physical mechanisms of controlled ion-plasma formation of the new functional nanomaterials are investigated. The technological regimes of formation of functional nanostructured materials under combined impact of several plasma sources are investigated; the structural and electrical properties of the obtained TiN films are studied. The structures of films are studied with scanning tunnelling microscope JSPM-4500/4610 interlocked with an atomic force microscope. As shown, the optimized helicon-arc reactor demonstrates the unique properties and provides controlled low-temperature formation of the dense regular TiN nanostructures with the sizes from a few to tens of nanometres.
format Article
author Rudenko, E.M.
Korotash, I.V.
Polotskiy, D.Y.
Osipov, L.S.
Dyakin, M.V.
Prikhna, T.A.
Shapovalov, A.P.
author_facet Rudenko, E.M.
Korotash, I.V.
Polotskiy, D.Y.
Osipov, L.S.
Dyakin, M.V.
Prikhna, T.A.
Shapovalov, A.P.
author_sort Rudenko, E.M.
title Formation of Nanostructured Relief of TiN—Fe Heterostructures in Hybrid Helicon-Arc Plasma Reactor
title_short Formation of Nanostructured Relief of TiN—Fe Heterostructures in Hybrid Helicon-Arc Plasma Reactor
title_full Formation of Nanostructured Relief of TiN—Fe Heterostructures in Hybrid Helicon-Arc Plasma Reactor
title_fullStr Formation of Nanostructured Relief of TiN—Fe Heterostructures in Hybrid Helicon-Arc Plasma Reactor
title_full_unstemmed Formation of Nanostructured Relief of TiN—Fe Heterostructures in Hybrid Helicon-Arc Plasma Reactor
title_sort formation of nanostructured relief of tin—fe heterostructures in hybrid helicon-arc plasma reactor
publisher Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
publishDate 2015
topic_facet Металлические поверхности и плёнки
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/111893
citation_txt Formation of Nanostructured Relief of TiN—Fe Heterostructures in Hybrid Helicon-Arc Plasma Reactor / E. M. Rudenko, I. V. Korotash, D. Y. Polotskiy, L. S. Osipov, M. V. Dyakin, T. A. Prikhna, A. P. Shapovalov // Металлофизика и новейшие технологии. — 2015. — Т. 37, № 4. — С. 499-508. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.
series Металлофизика и новейшие технологии
work_keys_str_mv AT rudenkoem formationofnanostructuredreliefoftinfeheterostructuresinhybridheliconarcplasmareactor
AT korotashiv formationofnanostructuredreliefoftinfeheterostructuresinhybridheliconarcplasmareactor
AT polotskiydy formationofnanostructuredreliefoftinfeheterostructuresinhybridheliconarcplasmareactor
AT osipovls formationofnanostructuredreliefoftinfeheterostructuresinhybridheliconarcplasmareactor
AT dyakinmv formationofnanostructuredreliefoftinfeheterostructuresinhybridheliconarcplasmareactor
AT prikhnata formationofnanostructuredreliefoftinfeheterostructuresinhybridheliconarcplasmareactor
AT shapovalovap formationofnanostructuredreliefoftinfeheterostructuresinhybridheliconarcplasmareactor
first_indexed 2024-03-30T09:19:21Z
last_indexed 2024-03-30T09:19:21Z
_version_ 1796149829079924736

Схожі ресурси