Peculiarities of glow modes of argon atmospheric pressure radio-frequency capacitive discharge with isolated electrodes
Glow characteristics of capacitive radio frequency discharge with isolated electrodes in low-current α and highcurrent γ modes are determined experimentally. It is shown that transition from α mode to γ mode occurs through a phase of coexistence of both modes in different parts of the discharge gap....
Збережено в:
| Дата: | 2013 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2013
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/112185 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Peculiarities of glow modes of argon atmospheric pressure radio-frequency capacitive discharge with isolated electrodes / V.Yu. Bazhenov, V.V. Tsiolko, V.M. Piun, R.Yu. Chaplinskiy, A.I. Kuzmichev // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 4. — С. 171-175. — Бібліогр.: 14 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-112185 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1121852017-01-23T22:29:06Z Peculiarities of glow modes of argon atmospheric pressure radio-frequency capacitive discharge with isolated electrodes Bazhenov, V.Yu. Tsiolko, V.V. Piun, V.M. Chaplinskiy, R.Yu. Kuzmichev, A.I. Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия Glow characteristics of capacitive radio frequency discharge with isolated electrodes in low-current α and highcurrent γ modes are determined experimentally. It is shown that transition from α mode to γ mode occurs through a phase of coexistence of both modes in different parts of the discharge gap. Експериментально встановлено характеристики горіння ємнісного високочастотного розряду з ізольованими електродами в аргоні атмосферного тиску в слабострумовому (α) та сильнострумовому (γ) режимах. Показано, що перехід з режиму α в режим γ відбувається через фазу одночасного існування двох режимів в різних частинах розрядного проміжку. Экспериментально установлены характеристики горения емкостного высокочастотного разряда с изолированными электродами в слаботочном (α) и сильноточном (γ) режимах. Показано, что переход из режима α в режим γ происходит через фазу одновременного существования двух режимов в разных частях разрядного промежутка. 2013 Article Peculiarities of glow modes of argon atmospheric pressure radio-frequency capacitive discharge with isolated electrodes / V.Yu. Bazhenov, V.V. Tsiolko, V.M. Piun, R.Yu. Chaplinskiy, A.I. Kuzmichev // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 4. — С. 171-175. — Бібліогр.: 14 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.80.Pi, 61.30.Hn, 81.65.-b http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/112185 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| topic |
Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия |
| spellingShingle |
Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия Bazhenov, V.Yu. Tsiolko, V.V. Piun, V.M. Chaplinskiy, R.Yu. Kuzmichev, A.I. Peculiarities of glow modes of argon atmospheric pressure radio-frequency capacitive discharge with isolated electrodes Вопросы атомной науки и техники |
| description |
Glow characteristics of capacitive radio frequency discharge with isolated electrodes in low-current α and highcurrent γ modes are determined experimentally. It is shown that transition from α mode to γ mode occurs through a phase of coexistence of both modes in different parts of the discharge gap. |
| format |
Article |
| author |
Bazhenov, V.Yu. Tsiolko, V.V. Piun, V.M. Chaplinskiy, R.Yu. Kuzmichev, A.I. |
| author_facet |
Bazhenov, V.Yu. Tsiolko, V.V. Piun, V.M. Chaplinskiy, R.Yu. Kuzmichev, A.I. |
| author_sort |
Bazhenov, V.Yu. |
| title |
Peculiarities of glow modes of argon atmospheric pressure radio-frequency capacitive discharge with isolated electrodes |
| title_short |
Peculiarities of glow modes of argon atmospheric pressure radio-frequency capacitive discharge with isolated electrodes |
| title_full |
Peculiarities of glow modes of argon atmospheric pressure radio-frequency capacitive discharge with isolated electrodes |
| title_fullStr |
Peculiarities of glow modes of argon atmospheric pressure radio-frequency capacitive discharge with isolated electrodes |
| title_full_unstemmed |
Peculiarities of glow modes of argon atmospheric pressure radio-frequency capacitive discharge with isolated electrodes |
| title_sort |
peculiarities of glow modes of argon atmospheric pressure radio-frequency capacitive discharge with isolated electrodes |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2013 |
| topic_facet |
Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/112185 |
| citation_txt |
Peculiarities of glow modes of argon atmospheric
pressure radio-frequency capacitive discharge
with isolated electrodes / V.Yu. Bazhenov, V.V. Tsiolko, V.M. Piun, R.Yu. Chaplinskiy, A.I. Kuzmichev // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — № 4. — С. 171-175. — Бібліогр.: 14 назв. — англ. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT bazhenovvyu peculiaritiesofglowmodesofargonatmosphericpressureradiofrequencycapacitivedischargewithisolatedelectrodes AT tsiolkovv peculiaritiesofglowmodesofargonatmosphericpressureradiofrequencycapacitivedischargewithisolatedelectrodes AT piunvm peculiaritiesofglowmodesofargonatmosphericpressureradiofrequencycapacitivedischargewithisolatedelectrodes AT chaplinskiyryu peculiaritiesofglowmodesofargonatmosphericpressureradiofrequencycapacitivedischargewithisolatedelectrodes AT kuzmichevai peculiaritiesofglowmodesofargonatmosphericpressureradiofrequencycapacitivedischargewithisolatedelectrodes |
| first_indexed |
2024-03-30T09:20:52Z |
| last_indexed |
2024-03-30T09:20:52Z |
| _version_ |
1796149859804250112 |