Probe formation in proton beam writing facility at IAP NASU
The principles of a proton beam writing facility were described. Particular attention was paid to the problem of probe-forming system design. It was shown that using of separate systems and parts of the scanning nuclear microprobe is the most effective solution. Various probe-forming system configur...
Збережено в:
| Дата: | 2015 |
|---|---|
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2015
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/112234 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Probe formation in proton beam writing facility at IAP NASU / O.S. Lapin, A.G. Ponomarev // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 4. — С. 57-61. — Бібліогр.: 19 назв. — англ. |