Структурно-фазовый состав в наноразмерных пленочных композициях CoSb₁,₈₂-₅,₄₅ (3О нм)-SiO₂ (100 нм)-Si (001) после осаждения и после отжигов
Методами фізичного матеріалознавства встановлено, що формування кристалічної скутерудитної фази CoSb₃ в нанорозмірній плівковій композиції (НПК) CoSb₁,₈₂-₅,₄₅ (3О нм)-SiO₂ (100 нм)-Si (001) відбувається при осадженні на підкладку, нагріту вище 200 °С, і вмісті Sb більше 72% (am.), що менше, чим маєм...
Збережено в:
Дата: | 2010 |
---|---|
Автори: | , , , , , , , |
Формат: | Стаття |
Мова: | Russian |
Опубліковано: |
Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України
2010
|
Назва видання: | Современные проблемы физического материаловедения |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/114352 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Структурно-фазовый состав в наноразмерных пленочных композициях CoSb₁,₈₂-₅,₄₅ (3О нм)-SiO₂ (100 нм)-Si (001) после осаждения и после отжигов / Ю.Н. Макогон, Е.П. Павлова, С.И. Сидоренко, Г. Беддис, М. Даниэль, Т.И. Вербицкая, Р.А. Шкарбань, С.Е. Богданов // Современные проблемы физического материаловедения: Сб. научн . тр. — К.: ІПМ НАН України, 2010. — Вип. 19. — С. 68-75. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |