2025-02-22T16:42:53-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-116084%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-22T16:42:53-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-116084%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-22T16:42:53-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-22T16:42:53-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития

Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития

Рассмотрено применение сфокусированных пучков протонов с энергией нескольких МэВ в технологии изготовления микро- и наноразмерных структур. Показаны отличительные особенности взаимодействия энергетичных протонов с резистивными материалами. Дано представление о современном состоянии технологии прото...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Сторижко, В.Е., Мирошниченко, В.И., Пономарев, А.Г.
Format: Article
Language:Russian
Published: Видавничий дім "Академперіодика" НАН України 2012
Series:Наука та інновації
Subjects:
Світ інновацій
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/116084
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

Internet

http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/116084

Similar Items