Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития

Рассмотрено применение сфокусированных пучков протонов с энергией нескольких МэВ в технологии изготовления микро- и наноразмерных структур. Показаны отличительные особенности взаимодействия энергетичных протонов с резистивными материалами. Дано представление о современном состоянии технологии прото...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2012
Автори: Сторижко, В.Е., Мирошниченко, В.И., Пономарев, А.Г.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Видавничий дім "Академперіодика" НАН України 2012
Назва видання:Наука та інновації
Теми:
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/116084
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития / В.Е. Сторижко, В.И. Мирошниченко, А.Г. Пономарев // Наука та інновації. — 2012. — Т. 8, № 2. — С. 17-22. — Бібліогр.: 22 назв. — рос.

Репозиторії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine