Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития
Рассмотрено применение сфокусированных пучков протонов с энергией нескольких МэВ в технологии изготовления микро- и наноразмерных структур. Показаны отличительные особенности взаимодействия энергетичных протонов с резистивными материалами. Дано представление о современном состоянии технологии прото...
Збережено в:
| Дата: | 2012 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Видавничий дім "Академперіодика" НАН України
2012
|
| Назва видання: | Наука та інновації |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/116084 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития / В.Е. Сторижко, В.И. Мирошниченко, А.Г. Пономарев // Наука та інновації. — 2012. — Т. 8, № 2. — С. 17-22. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-116084 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1160842017-04-21T03:02:30Z Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития Сторижко, В.Е. Мирошниченко, В.И. Пономарев, А.Г. Світ інновацій Рассмотрено применение сфокусированных пучков протонов с энергией нескольких МэВ в технологии изготовления микро- и наноразмерных структур. Показаны отличительные особенности взаимодействия энергетичных протонов с резистивными материалами. Дано представление о современном состоянии технологии протонной пучковой литографии и сформулированы перспективы ее развития. Розглянуто застосування сфокусованих пучків протонів з енергією декількох МеВ в технології виготовлення мікро- та нанорозмірних структур. Показано відмітні особливості взаємодії енергетичних протонів з резистивними матеріалами. Викладені уявлення про сучасний стан технології протонної пучкової літографії та сформульовані перспективи її розвитку. The application of focusing beams of protons with MeV energy in fabrication technology of micro- and nano-dimension structures is considered. Difference features of energetic protons interaction with resistive materials are shown. The representation about state of the art of technology of proton beam lithography is given and prospects of its development are formulated. 2012 Article Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития / В.Е. Сторижко, В.И. Мирошниченко, А.Г. Пономарев // Наука та інновації. — 2012. — Т. 8, № 2. — С. 17-22. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. 1815-2066 DOI: doi.org/10.15407/scin8.02.017 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/116084 ru Наука та інновації Видавничий дім "Академперіодика" НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Світ інновацій Світ інновацій |
| spellingShingle |
Світ інновацій Світ інновацій Сторижко, В.Е. Мирошниченко, В.И. Пономарев, А.Г. Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития Наука та інновації |
| description |
Рассмотрено применение сфокусированных пучков протонов с энергией нескольких МэВ в технологии изготовления микро- и наноразмерных структур. Показаны отличительные особенности взаимодействия энергетичных
протонов с резистивными материалами. Дано представление о современном состоянии технологии протонной
пучковой литографии и сформулированы перспективы ее развития. |
| format |
Article |
| author |
Сторижко, В.Е. Мирошниченко, В.И. Пономарев, А.Г. |
| author_facet |
Сторижко, В.Е. Мирошниченко, В.И. Пономарев, А.Г. |
| author_sort |
Сторижко, В.Е. |
| title |
Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития |
| title_short |
Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития |
| title_full |
Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития |
| title_fullStr |
Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития |
| title_full_unstemmed |
Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития |
| title_sort |
изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития |
| publisher |
Видавничий дім "Академперіодика" НАН України |
| publishDate |
2012 |
| topic_facet |
Світ інновацій |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/116084 |
| citation_txt |
Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития / В.Е. Сторижко, В.И. Мирошниченко, А.Г. Пономарев // Наука та інновації. — 2012. — Т. 8, № 2. — С. 17-22. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. |
| series |
Наука та інновації |
| work_keys_str_mv |
AT storižkove izgotovleniemikroinanorazmernyhstruktursprimeneniemprotonnojpučkovojlitografiisovremennoesostoânieiperspektivyrazvitiâ AT mirošničenkovi izgotovleniemikroinanorazmernyhstruktursprimeneniemprotonnojpučkovojlitografiisovremennoesostoânieiperspektivyrazvitiâ AT ponomarevag izgotovleniemikroinanorazmernyhstruktursprimeneniemprotonnojpučkovojlitografiisovremennoesostoânieiperspektivyrazvitiâ |
| first_indexed |
2023-10-18T20:26:51Z |
| last_indexed |
2023-10-18T20:26:51Z |
| _version_ |
1796150219481546752 |