2025-02-22T16:21:44-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-116087%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-22T16:21:44-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-116087%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-22T16:21:44-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-22T16:21:44-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Характеризация элементного распределения по глубине пленок и покрытий методами RF GD-OES и TOFMS™

Характеризация элементного распределения по глубине пленок и покрытий методами RF GD-OES и TOFMS™

Описаны методы оптической эмиссионной спектрометрии тлеющего ВЧ-разряда. Приведены характеристики плазмы тлеющего разряда, позволяющие выполнять эрозию поверхности с высокой скоростью....

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Чапон, П., Костенко, О.К.
Format: Article
Language:Russian
Published: Видавничий дім "Академперіодика" НАН України 2012
Series:Наука та інновації
Subjects:
Світ інновацій
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/116087
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

Internet

http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/116087

Similar Items