Характеризация элементного распределения по глубине пленок и покрытий методами RF GD-OES и TOFMS™
Описаны методы оптической эмиссионной спектрометрии тлеющего ВЧ-разряда. Приведены характеристики плазмы тлеющего разряда, позволяющие выполнять эрозию поверхности с высокой скоростью....
Збережено в:
| Дата: | 2012 |
|---|---|
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Видавничий дім "Академперіодика" НАН України
2012
|
| Назва видання: | Наука та інновації |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/116087 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Характеризация элементного распределения по глубине пленок и покрытий методами RF GD-OES и TOFMS™ / П. Чапон, О.К. Костенко // Наука та інновації. — 2012. — Т. 8, № 2. — С. 34-38. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-116087 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-1160872017-04-21T03:02:33Z Характеризация элементного распределения по глубине пленок и покрытий методами RF GD-OES и TOFMS™ Чапон, П. Костенко, О.К. Світ інновацій Описаны методы оптической эмиссионной спектрометрии тлеющего ВЧ-разряда. Приведены характеристики плазмы тлеющего разряда, позволяющие выполнять эрозию поверхности с высокой скоростью. Описані методи оптичної емісійної спектрометрії тліючого ВЧ-розряду. Наведені характеристики плазми тліючого розряду, що дозволяють виконувати ерозію поверхні з високою швидкістю. Methods of optical emission spectrometry of grow HFdis charge are described. The unique characteristics of GD plasma, which allow performing very fast surface erosion, are presented. 2012 Article Характеризация элементного распределения по глубине пленок и покрытий методами RF GD-OES и TOFMS™ / П. Чапон, О.К. Костенко // Наука та інновації. — 2012. — Т. 8, № 2. — С. 34-38. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. 1815-2066 DOI: doi.org/10.15407/scin8.02.034 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/116087 ru Наука та інновації Видавничий дім "Академперіодика" НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Світ інновацій Світ інновацій |
| spellingShingle |
Світ інновацій Світ інновацій Чапон, П. Костенко, О.К. Характеризация элементного распределения по глубине пленок и покрытий методами RF GD-OES и TOFMS™ Наука та інновації |
| description |
Описаны методы оптической эмиссионной спектрометрии тлеющего ВЧ-разряда. Приведены характеристики
плазмы тлеющего разряда, позволяющие выполнять эрозию поверхности с высокой скоростью. |
| format |
Article |
| author |
Чапон, П. Костенко, О.К. |
| author_facet |
Чапон, П. Костенко, О.К. |
| author_sort |
Чапон, П. |
| title |
Характеризация элементного распределения по глубине пленок и покрытий методами RF GD-OES и TOFMS™ |
| title_short |
Характеризация элементного распределения по глубине пленок и покрытий методами RF GD-OES и TOFMS™ |
| title_full |
Характеризация элементного распределения по глубине пленок и покрытий методами RF GD-OES и TOFMS™ |
| title_fullStr |
Характеризация элементного распределения по глубине пленок и покрытий методами RF GD-OES и TOFMS™ |
| title_full_unstemmed |
Характеризация элементного распределения по глубине пленок и покрытий методами RF GD-OES и TOFMS™ |
| title_sort |
характеризация элементного распределения по глубине пленок и покрытий методами rf gd-oes и tofms™ |
| publisher |
Видавничий дім "Академперіодика" НАН України |
| publishDate |
2012 |
| topic_facet |
Світ інновацій |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/116087 |
| citation_txt |
Характеризация элементного распределения по глубине пленок и покрытий методами RF GD-OES и TOFMS™ / П. Чапон, О.К. Костенко // Наука та інновації. — 2012. — Т. 8, № 2. — С. 34-38. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
| series |
Наука та інновації |
| work_keys_str_mv |
AT čaponp harakterizaciâélementnogoraspredeleniâpoglubineplenokipokrytijmetodamirfgdoesitofms AT kostenkook harakterizaciâélementnogoraspredeleniâpoglubineplenokipokrytijmetodamirfgdoesitofms |
| first_indexed |
2023-10-18T20:26:52Z |
| last_indexed |
2023-10-18T20:26:52Z |
| _version_ |
1796150219799265280 |