Optical properties of thin films of titanium with transient layers on them
Within the Beattie spectroellipsometric method, we measured the ellipsometric parameters of thin Ті films deposited onto glass substrates by magnetron sputtering in argon atmosphere. Measurements were carried out at five angles of incidence with light from the visible and ultraviolet ranges of th...
Збережено в:
| Дата: | 2010 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2010
|
| Назва видання: | Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/118394 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Optical properties of thin films of titanium with transient layers on them /V.V. Lendel, O.V. Lomakina, L.Yu. Mel’nychenko, I.A. Shaykevich // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2010. — Т. 13, № 3. — С. 231-234. — Бібліогр.: 9 назв. — англ. |